[實用新型]夾持系統(tǒng)及具有其的區(qū)熔設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921000002.5
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN210765577U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韓玉秋;丁鑫垚;褚洪超;關(guān)樹軍
• 申請（專利權(quán)）人: 北京天能運通晶體技術(shù)有限公司
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京市鼎立東審知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11751
• 代理人: 陳佳妹;賈滿意

1.一種夾持系統(tǒng)，其特征在于，包括銷子片、銷子桿和籽晶夾頭；

其中，所述銷子桿的一端放置在夾持器銷子孔釋放桿上；

所述銷子片搭接在所述銷子桿的另一端，并與所述銷子桿可拆卸連接；

所述銷子片的邊緣位置處間隔開設(shè)有兩個以上的圓弧形開口，且每個所述開口的半徑不同；

在采用區(qū)熔法工藝拉制單晶時，所述銷子片邊緣位置處所開設(shè)的任一所述開口與所述籽晶夾頭的籽晶夾持部相對應(yīng)，用于夾持所拉制出的單晶棒。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持系統(tǒng)，其特征在于，所述銷子片的主體呈圓片狀；且圓片狀的所述銷子片的直徑取值為：70mm—90mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持系統(tǒng)，其特征在于，所述開口的個數(shù)為三個，分別為第一開口、第二開口和第三開口；

其中，所述第一開口、所述第二開口和所述第三開口等間隔設(shè)置；且

所述第一開口的直徑為55mm，所述第二開口的直徑為60mm，所述第三開口的直徑為65mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持系統(tǒng)，其特征在于，兩個以上的所述開口等間隔設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持系統(tǒng)，其特征在于，所述銷子片與所述銷子桿間之間的連接方式為螺紋連接或平鍵連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持系統(tǒng)，其特征在于，所述銷子桿的長度取值范圍為55mm—65mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持系統(tǒng)，其特征在于，所述籽晶夾頭還包括固定部和可調(diào)節(jié)部；

其中，所述籽晶夾持部、所述可調(diào)節(jié)部和所述固定部依次連接；

所述籽晶夾持部，適用于夾持固定籽晶；

所述固定部未與所述可調(diào)節(jié)部相連接的一端適用于安裝到區(qū)熔爐的下軸內(nèi)軸的軸尖上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的夾持系統(tǒng)，其特征在于，所述籽晶夾持部、所述可調(diào)節(jié)部和所述固定部均呈圓柱狀；且

所述籽晶夾持部與所述可調(diào)節(jié)部的直徑比例為3:1。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持系統(tǒng)，其特征在于，還包括防流熔碗；

所述防流熔碗與區(qū)熔爐的下軸內(nèi)軸固定連接，且連接方式為螺接；

其中，所述防流熔碗的主體呈柱狀，且所述防流熔碗的高度取值范圍為30mm—50mm。

10.一種區(qū)熔設(shè)備，其特征在于，包括區(qū)熔爐和權(quán)利要求1至9任一項所述的夾持系統(tǒng)；

所述夾持系統(tǒng)位于所述區(qū)熔爐的內(nèi)部，用于在采用區(qū)熔法工藝拉制單晶時夾持所拉制出的所述單晶。