[實用新型]一種多層結(jié)構(gòu)的拋光墊

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920993980.8
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN210414071U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張莉媛;張美娟;江天山;張均海;童文濤
• 申請（專利權(quán)）人: 江西新恒星拋光材料科技有限公司
• 主分類號: B24B37/22
• 分類號: B24B37/22
• 代理公司: 南昌佳誠專利事務(wù)所 36117
• 代理人: 劉守正

本實用新型公布了一種多層結(jié)構(gòu)的拋光墊，從上至下依次設(shè)有親水聚酰胺層、熱塑性聚氨酯層和聚氯乙烯層，所述親水聚酰胺層表面含有若干凸起單元，每個凸起單元包括矩形陣列形成的小凸起以及圍繞該小凸起設(shè)置的大凸起，每個凸起單元之間距離大于所述每個凸起單元內(nèi)小凸起之間的距離，所述大凸起的高度和所述小凸起的高度一致；所述小凸起之間以及凸起單元之間構(gòu)成相互連通的網(wǎng)格狀凹槽；所述大凸起和/或所述小凸起上表面設(shè)有若干儲液微孔；本實用新型能夠有效延長使用壽命，而且能夠避免大料屑在拋光墊上殘留影響拋光質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及拋光墊領(lǐng)域，特別是一種多層結(jié)構(gòu)的拋光墊。

背景技術(shù)

拋光墊也有人稱它為拋光皮、拋光布、拋光片等，表面結(jié)構(gòu)分為平面型、網(wǎng)格型和螺旋線型等，是化學(xué)機(jī)械拋光中決定表面質(zhì)量的重要輔料。它的主要作用如下：(1)把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域；(2)將拋光后便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行的反應(yīng)物、碎屑等順利排出，達(dá)到去除效果；(3)維持拋光墊表面的拋光液薄膜，以便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行；(4)保持拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形，以便獲得較好的晶片表面形貌；因此，設(shè)計一種更好地發(fā)揮以上作用的拋光墊勢在必行。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述存在的問題，本實用新型公開了一種多層結(jié)構(gòu)的拋光墊，從上至下依次設(shè)有親水聚酰胺層、熱塑性聚氨酯層和聚氯乙烯層，所述親水聚酰胺層表面含有若干凸起單元，每個凸起單元包括矩形陣列形成的小凸起以及圍繞該小凸起設(shè)置的大凸起，每個凸起單元之間距離大于所述每個凸起單元內(nèi)小凸起之間的距離，所述大凸起的高度和所述小凸起的高度一致；所述小凸起之間以及凸起單元之間構(gòu)成相互連通的網(wǎng)格狀凹槽；所述大凸起和/或所述小凸起上表面設(shè)有若干儲液微孔，所述網(wǎng)格狀凹槽內(nèi)設(shè)有填充層。

優(yōu)選地，所述填充層的高度小于所述網(wǎng)格狀凹槽的深度，具體地，所述填充層的材質(zhì)采用無機(jī)材料；或所述填充層的材質(zhì)采用微溶于堿液或者酸液的有機(jī)材料。

優(yōu)選地，所述網(wǎng)格狀凹槽的底部設(shè)置成U型面或V型面。

優(yōu)選地，所述親水聚酰胺層與熱塑性聚氨酯層之間以及所述熱塑性聚氨酯層與聚氯乙烯層之間設(shè)有連接筋。

優(yōu)選地，所述親水聚酰胺層內(nèi)還設(shè)有若干腔體，有助于拋光墊回彈。

優(yōu)選地，所述拋光墊的厚度低于10mm。

本實用新型的有益效果：(1)通過設(shè)置設(shè)置大凸起和小凸起，同時設(shè)置凸起單元之間距離大于所述每個凸起單元內(nèi)小凸起之間的距離，由于在拋光作業(yè)過程中，拋光產(chǎn)生的料屑大小不一，可以在不同尺寸的網(wǎng)格凹槽內(nèi)流動排出，提高拋光質(zhì)量。

(2)將網(wǎng)格狀凹槽內(nèi)設(shè)有填充層，因當(dāng)拋光液在該拋光墊上流動時，凹槽內(nèi)的填充層能夠在一定程度上使拋光液在凹槽內(nèi)的流動受到一定的限制作用；隨著拋光的時間增加，拋光墊上的大凸起、小凸起的上表面將會被磨損，網(wǎng)格狀凹槽的槽深度將會發(fā)生變化，即槽深變淺甚至被磨平，由于填充層的存在，一方面可減緩凹槽磨損，增加拋光墊的使用時間；另一方面，可將網(wǎng)格狀凹槽內(nèi)的填充層去除，由于填充層的材質(zhì)關(guān)系，其能夠微溶于拋光液中，從而使拋光液在凹槽深度得以改善，從而使得流動能力得以改善，確保拋光液能夠均勻地分散到拋光布本體的表面，保證拋光液的順利流通，由以上可知，在凹槽內(nèi)設(shè)置填充層，增加了拋光墊的使用壽命，實用性較強(qiáng)。(3)通過在大凸起和/或所述小凸起上表面設(shè)有若干儲液微孔，能夠在拋光過程中，儲液微孔內(nèi)能夠儲存微量的拋光液，對拋光件的拋光效果更好；(4)通過在所述親水聚酰胺層與熱塑性聚氨酯層之間以及所述熱塑層與聚氯乙烯層之間設(shè)有連接筋，能夠進(jìn)一步提高層層之間粘結(jié)力，延長其壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型的俯視圖；

圖3是本實用新型大凸起表面的結(jié)構(gòu)示意圖；