[實用新型]一種化學機械研磨冷卻裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920993130.8 | 申請日： | 2019-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN210210008U | 公開（公告）日： | 2020-03-31 |
| 發(fā)明（設計）人： | 田得暄;辛君;林宗賢 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | B24B55/02 | 分類號： | B24B55/02 |
| 代理公司： | 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 張東梅 |
| 地址： | 223302 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 化學 機械 研磨 冷卻 裝置 | ||
1.一種化學機械研磨冷卻裝置，其特征在于，包括：
研磨頭；
冷卻水入口，所述冷卻水入口從所述研磨頭的上面中間接入；
冷卻水出口，所述冷卻水出口從所述研磨頭的上面中間接出；以及
冷卻水通路，所述冷卻水通路設置在研磨頭內部并且緊鄰研磨頭的研磨面，所述冷卻水通路與所述冷卻水入口、所述冷卻水出口構成循環(huán)通路。
2.如權利要求1所述的化學機械研磨冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻水入口從所述研磨頭上面中間接入后，再從所述研磨頭邊緣靠近研磨面的位置連接至冷卻水通路，最后從所述研磨頭中間靠近研磨面的位置連接至所述冷卻水出口。
3.如權利要求1所述的化學機械研磨冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻水出口從所述研磨頭上面中間接入后，再從所述研磨頭邊緣靠近研磨面的位置連接至冷卻水通路。
4.如權利要求3所述的化學機械研磨冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻水入口從所述研磨頭上面中間接入后，再從所述研磨頭中間靠近研磨面的位置連接至冷卻水通路，最后從所述研磨頭邊緣靠近研磨面的位置連接至所述冷卻水出口。
5.如權利要求1所述的化學機械研磨冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻水通路位于所述磨頭靠近研磨面，且與所述研磨面平行的表面。
6.如權利要求1所述的化學機械研磨冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻水通路成環(huán)形平面布局。
7.如權利要求1所述的化學機械研磨冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻水通路成螺旋環(huán)形平面布局。
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