[實(shí)用新型]融入針板結(jié)構(gòu)的高精度載板裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920993060.6 | 申請日: | 2019-06-28 |
| 公開(公告)號: | CN209859935U | 公開(公告)日: | 2019-12-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 朱彥飛;郗旭斌 | 申請(專利權(quán))人: | 珠海市運(yùn)泰利自動化設(shè)備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68;H01L21/66 |
| 代理公司: | 44214 廣州市紅荔專利代理有限公司 | 代理人: | 王賢義 |
| 地址: | 519180 廣東省珠*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 定位組件 本實(shí)用新型 配合設(shè)置 針板組件 定位槽 活動腔 推塊 載板 測試 滑動配合 芯片測試 芯片產(chǎn)品 針板結(jié)構(gòu) 適配 針點(diǎn) 融入 應(yīng)用 | ||
1.一種融入針板結(jié)構(gòu)的高精度載板裝置,其特征在于:它包括基座(1)以及適配安裝在所述基座(1)上的定位組件(2),所述基座(1)上設(shè)有活動腔(3)及設(shè)于所述活動腔(3)內(nèi)的針板組件(4),所述定位組件(2)上設(shè)有定位槽(5)及滑動配合在所述定位組件(2)上的推塊(6),所述定位組件(2)的內(nèi)部設(shè)有配合設(shè)置在所述針板組件(4)上方的載板(7),所述推塊(6)和所述載板(7)均與所述定位槽(5)相配合設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的融入針板結(jié)構(gòu)的高精度載板裝置,其特征在于:所述基座(1)頂部設(shè)有若干個導(dǎo)柱(8),所述基座(1)底部設(shè)有若干個導(dǎo)套(9)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的融入針板結(jié)構(gòu)的高精度載板裝置,其特征在于:所述定位組件(2)包括固定塊(10)及與所述固定塊(10)適配的定位塊(11),所述固定塊(10)底部的圓弧邊上設(shè)有第一弧形板(12),所述定位塊(11)底部的圓弧邊上設(shè)有第二弧形板(13),所述定位組件(2)通過所述第一弧形板(12)和所述第二弧形板(13)螺紋連接在所述基座(1)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的融入針板結(jié)構(gòu)的高精度載板裝置,其特征在于:所述固定塊(10)上設(shè)有滑動槽(14),所述推塊(6)滑動配合在所述滑動槽(14)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的融入針板結(jié)構(gòu)的高精度載板裝置,其特征在于:所述固定塊(10)的底部上設(shè)有第一凹槽,所述定位塊(11)的底部上設(shè)有第二凹槽,所述第一凹槽與所述第二凹槽形成空腔(15),所述空腔(15)與所述針板組件(4)相適配,所述載板(7)設(shè)于所述空腔(15)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的融入針板結(jié)構(gòu)的高精度載板裝置,其特征在于:所述固定塊(10)上設(shè)有彈簧安裝槽及設(shè)于所述彈簧安裝槽上的固定彈簧,所述固定彈簧與所述推塊(6)的尾端相連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的融入針板結(jié)構(gòu)的高精度載板裝置,其特征在于:所述針板組件(4)包括PCB轉(zhuǎn)接板(16)、適配安裝在所述PCB轉(zhuǎn)接板(16)上的針板(17)、設(shè)于所述針板(17)上的安裝塊(18)以及若干個均設(shè)于所述安裝塊(18)上的探針(19),所述PCB轉(zhuǎn)接板(16)的底部上固定連接有若干個轉(zhuǎn)接針(20)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的融入針板結(jié)構(gòu)的高精度載板裝置,其特征在于:所述PCB轉(zhuǎn)接板(16)通過若干個定位銷(21)與所述針板(17)進(jìn)行對位,并且所述PCB轉(zhuǎn)接板(16)通過若干個螺絲與所述針板(17)固定連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的融入針板結(jié)構(gòu)的高精度載板裝置,其特征在于:所述載板(7)上設(shè)有支撐塊(22)及若干個均開設(shè)在所述支撐塊(22)上的探針孔(23),所述支撐塊(22)的底部設(shè)有與所述安裝塊(18)相適配的對位槽(24),所述探針孔(23)與所述對位槽(24)相連通,若干個所述探針孔(23)與若干個所述探針(19)一一對應(yīng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的融入針板結(jié)構(gòu)的高精度載板裝置,其特征在于:所述載板(7)的底部設(shè)有若干個彈簧槽,所述針板(17)的頂部上安裝有若干個與所述彈簧槽一一對應(yīng)的復(fù)位彈簧(25)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





