[實用新型]門閥裝置及真空鍍膜設備

有效

• 申請號: 201920993048.5
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN210461737U
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 么曼實
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: F16K3/02
• 分類號: F16K3/02;F16K3/314;F16K3/316;F16K27/04;F16K31/04;F16K31/50
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 麻雪梅

本實用新型涉及門閥技術領域，尤其涉及一種門閥裝置及真空鍍膜設備。該門閥裝置包括閥體、傳動機構和閥板，所述閥板和傳動機構分別設置于所述閥體內部，所述傳動機構包括雙向絲杠、兩個滑動螺母和兩個連桿，所述雙向絲杠包括兩個旋向相反的螺紋部，兩個所述滑動螺母分別與兩個所述螺紋部對應螺紋配合，兩個所述滑動螺母與兩個所述連桿的一端對應鉸接，兩個所述連桿的另一端分別與所述閥板鉸接。本實用新型所述的門閥裝置，不僅能夠有效減小閥板在上下升降過程中的沖力，使得閥板的運動更加容易控制，而且使得門閥裝置的整體體積較小，方便拆裝維護。

技術領域

本實用新型涉及門閥技術領域，尤其涉及一種門閥裝置及真空鍍膜設備。

背景技術

在真空鍍膜設備中，需要采用門閥裝置來對真空腔室進行密封。現有的門閥裝置，通常采用氣缸來直接驅動閥板作直線往復運動，進而實現對門閥的開閉操作。

現有的門閥裝置，在進行門閥的開閉操作時，由于氣缸運動具有較強沖擊，因此導致氣缸驅動閥板時，難以精確的控制閥板運動位置，進而影響門閥裝置的工作穩定性和密封效果。

此外，氣缸安裝在真空腔室中，需要足夠大的空間用于容納氣缸的尺寸以及氣缸運動行程。因此不適用于腔室內部空間狹小的真空鍍膜設備。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

本實用新型的目的是提供一種門閥裝置及真空鍍膜設備，解決現有門閥裝置采用氣動驅動時沖擊較強，難以進行有效控制的問題。

(二)技術方案

第一方面，本實用新型提供了一種門閥裝置，包括閥體、傳動機構和閥板，所述閥板和傳動機構分別設置于所述閥體內部；所述傳動機構包括雙向絲杠、兩個滑動螺母和兩個連桿，所述雙向絲杠包括兩個旋向相反的螺紋部，兩個所述滑動螺母分別與兩個所述螺紋部對應螺紋配合，兩個所述滑動螺母與兩個所述連桿的一端對應鉸接，兩個所述連桿的另一端分別與所述閥板鉸接。

通過雙向絲杠的轉動能夠帶動兩個滑動螺母進行相對或相向運動，兩個滑動螺母的相對或相向運動能夠帶動兩個連桿進行轉動，從而帶動閥板在閥體中進行上下升降運動，進而實現門閥裝置的開閉操作。

進一步地，所述閥體包括殼體，所述殼體沿所述閥板的運動方向延伸設置；所述殼體中設有卡槽，所述卡槽的形狀與所述閥板相匹配，所述卡槽設置在所述殼體靠近所述閥板的一側；所述殼體上設有閥口，所述閥口貫穿所述殼體并與所述卡槽貫通。

所述閥板向上運動時，所述閥板能夠卡裝在所述卡槽中，從而使所述閥口關閉，實現所述閥板與所述閥體之間的閉合密封。所述閥板向下運動時，能夠使所述閥板從所述卡槽中脫離，從而使所述閥口打開，實現所述閥板與所述閥體之間的開啟。

具體地，所述閥板上對應所述閥口的側面設有密封件，所述密封件在所述閥板上的投影包圍所述閥口在所述閥板上的投影。

當所述門閥裝置關閉時，所述閥板卡裝在所述卡槽中，通過在所述閥板上設置密封件，能夠對所述閥口進行有效密封，增強所述閥板與所述閥體之間閉合時的密封性。

進一步地，還包括驅動機構，所述驅動機構設置于所述殼體外部，所述驅動機構與所述雙向絲杠驅動連接。

將所述驅動機構設置于所述閥板的殼體外部，能夠避免驅動機構占用所述閥板的內部空間，有效節省空間。

具體地，所述驅動機構包括驅動電機和聯軸器，所述驅動電機的動力輸出端與所述聯軸器的一端連接，所述聯軸器的另一端與所述雙向絲杠的一端連接。

所述驅動電機能夠通過所述聯軸器帶動所述雙向絲杠轉動，進而帶動所述閥板進行上下升降運動，實現對門閥裝置的開閉操作。