[實用新型]應用于液氮冷阱的放溢裝置

有效

• 申請號: 201920990537.5
• 申請日: 2019-06-26
• 公開（公告）號: CN210751366U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 高金德;陳強
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B01D8/00
• 分類號: B01D8/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅

本實用新型提供了一種應用于液氮冷阱的放溢裝置，所述放溢裝置具有雙層結構，包括杯狀主體和防凍保護層，所述防凍保護層設置在所述杯狀主體的外表面，所述杯狀主體的內直徑大于液氮冷阱的外直徑，所述杯狀主體的內腔底部與所述液氮冷阱的底部連接。由于液氮冷阱容置在所述放溢裝置中，這樣工作人員在添加液氮時，一旦有液氮從液氮冷阱中溢出，可以被所述放溢裝置容納，從而避免溢出的液氮對設備或者人員造成危害。

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，特別涉及一種應用于液氮冷阱的放溢裝置。

背景技術

現有技術中掃描電子顯微鏡、聚焦離子束顯微鏡等高真空分析設備均需要配備液氮冷阱以提升樣品倉的潔凈度，降低樣品表面的污染吸附，從而達到最佳的樣品觀測效果。

目前設備標配的液氮冷阱如圖1所示，液氮冷阱的阱身側面連通有出口管101，出口管101的出口端安裝有密封閥102，液氮冷阱的開口處安裝有密封蓋103，密封蓋103開口處安裝有液氮注入口104。當液氮冷阱中的液氮被消耗用盡時，設備工作人員需要通過液氮注入口104向液氮冷阱中添加液氮，在此過程中有可能會造成液氮溢出。在常壓下，液氮的溫度低至-196℃，一旦外溢出，由于液氮溫度太低，常溫下不會立馬揮發，少則會在液氮注入口形成水珠或者凝結成霜然后再慢慢揮發掉，多則可能會流至設備表面，從而凍壞設備表面，甚至帶來人員凍傷的風險。由上可以看出，現有技術中在給設備標配的液氮冷阱添加液氮過程中存在諸多方面的安全隱患。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種應用于液氮冷阱的放溢裝置，以解決現有技術中工作人員在給液氮冷阱添加液氮時液氮溢出，從而凍壞設備的表面，甚至帶來人員凍傷的風險。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供了一種應用于液氮冷阱的放溢裝置，所述放溢裝置具有雙層結構，包括杯狀主體和防凍保護層，所述防凍保護層設置在所述杯狀主體的外表面，所述杯狀主體的內直徑大于液氮冷阱的外直徑，所述杯狀主體的內腔底部與所述液氮冷阱的底部連接。

可選的，所述放溢裝置還包括連接組件，所述連接組件設置在所述杯狀主體的內腔底部，用于與所述液氮冷阱的底部連接。

可選的，所述連接組件為磁鐵或螺絲。

可選的，所述杯狀主體與防凍保護層的高度相同，兩者處于齊平狀態。

可選的，所述杯狀主體的高度小于所述液氮冷阱的出口管與所述液氮冷阱底部之間的距離。

可選的，所述杯狀主體的材質為金屬材質。

可選的，所述杯狀主體的材質為不銹鋼材質。

可選的，所述防凍保護層的材質為泡沫材質。

可選的，所述杯狀主體的側壁垂直于所述杯狀主體的底面。

可選的，所述杯狀主體的側壁向外圍傾斜與所述杯狀主體的底面形成一個大于90°且小于180°的夾角。

可選的，所述夾角的范圍選在120°-150°之間。

可選的，所述防凍保護層的外表面設有一塑料薄膜層。

本實用新型提供的一種應用于液氮冷阱的放溢裝置，具有以下有益效果：

所述放溢裝置具有雙層結構，包括杯狀主體和防凍保護層，所述防凍保護層設置在所述杯狀主體的外表面，所述杯狀主體的內直徑大于液氮冷阱的外直徑，所述杯狀主體的內腔底部與所述液氮冷阱連接。由于液氮冷阱容置在所述放溢裝置中，這樣工作人員在添加液氮時，一旦有液氮從液氮冷阱中溢出，可以被所述放溢裝置容納，從而避免溢出的液氮對設備或者人員造成危害。

附圖說明

圖1是現有技術中設備標配的液氮冷阱的結構示意圖；