[實用新型]光點差分式非接觸式元件厚度測量的光頭及厚度測量裝置

有效

• 申請號: 201920987358.6
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN210220983U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 王善忠;曹兆樓
• 申請（專利權）人: 愛丁堡（南京）光電設備有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 南京中律知識產權代理事務所(普通合伙) 32341
• 代理人: 李建芳

1.一種光點差分式非接觸式元件厚度測量的光頭，其特征在于：其光學系統包括光源、分光鏡、第一聚光鏡、柱面鏡和相機；

光源發出的光束經分光鏡后，一部分光經過第一聚光鏡聚成測量光點、落在被測元件表面；

測量光點在被測元件表面反射，沿原光路返回，依次經過第一聚光鏡、分光鏡和柱面鏡后，被聚焦形成相互垂直的X方向的焦線和Y方向的焦線，且在X方向的焦線和Y方向的焦線之間，形成呈中心對稱的像點，相機設在像點處。

2.如權利要求1所述的光點差分式非接觸式元件厚度測量的光頭，其特征在于：還包括第二聚光鏡和毛玻璃，光源發出的光束經分光鏡后，還有一部分光經過第二聚光鏡聚光形成指示光點、并落在毛玻璃上。

3.如權利要求1或2所述的光點差分式非接觸式元件厚度測量的光頭，其特征在于：分光鏡為半反半透鏡；半反半透鏡的反射面與光源的照射方向夾角為0～90°、且0°和90°除外；光源發出的光束經過半反半透鏡一部分被反射形成反射光、另一部分被投射形成投射光，半反半透鏡的反射光經第一聚光鏡聚成測量光點、落在被測元件表面。

4.如權利要求3所述的光點差分式非接觸式元件厚度測量的光頭，其特征在于：半反半透鏡的透射光經第二聚光鏡聚光形成指示光點、并落在毛玻璃上。

5.如權利要求3所述的光點差分式非接觸式元件厚度測量的光頭，其特征在于：光源的照射方向與水平方向一致；半反半透鏡設在光源的照射方向上，半反半透鏡的反射面與光源的照射方向夾角為45°；第一聚光鏡設在半反半透鏡的正下方；柱面鏡為柱面聚光鏡，柱面鏡球面向上地設在半反半透鏡的正上方；相機設在像點處。

6.如權利要求5所述的光點差分式非接觸式元件厚度測量的光頭，其特征在于：第二聚光鏡豎直地設在光源的正對面，且半反半透鏡位于光源和第二聚光鏡之間。

7.如權利要求1或2所述的光點差分式非接觸式元件厚度測量的光頭，其特征在于：光源為點光源；相機為焦平面相機。

8.包含權利要求1-7任意一項所述的光點差分式非接觸式元件厚度測量的光頭的厚度測量裝置，其特征在于：還包括底座和第一立柱；第一立柱垂直設在底座的上表面，第一立柱上設有刻度值；光頭通過連接桿連接在第一立柱上，第一聚光鏡聚成的測量光點可落在底座的上表面上；連接桿在第一立柱上的高度可調。

9.如權利要求8所述的厚度測量裝置，其特征在于：第一立柱上設有Z軸導軌，連接桿一端滑動連接在Z軸導軌上、另一端連接光頭。

10.如權利要求8或9所述的厚度測量裝置，其特征在于：還包括第二立柱，第二立柱垂直設在底座的上表面，第一立柱上通過兩根連接桿分別連接有上下相對設置的兩個光頭，兩個光頭的出光口相對，兩根連接桿在第一立柱上的高度可調；第二立柱上設有樣品架。