[實用新型]一種用于等離子噴涂靶材作業的夾具

有效

• 申請號: 201920984920.X
• 申請日: 2019-06-27
• 公開（公告）號: CN210657106U
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 常金永
• 申請（專利權）人: 江陰恩特萊特鍍膜科技有限公司
• 主分類號: C23C4/134
• 分類號: C23C4/134
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅

本實用新型涉及一種用于等離子噴涂靶材作業的夾具，左連接頭的一端插入至背管端部的內孔中，背管的另一端連接有右連接頭，背管內套設有通水襯管，左連接頭通過法蘭連接在轉床的主軸上，右連接頭的中心錐度孔與轉床的尾座頂住，背管能夠隨轉床主軸轉動，左連接頭上設置有左進水孔，左進水孔與通水襯管相連通，右連接頭上設置有右進水孔，右連接頭上設置有右出水孔，右出水孔與背管和通水襯管形成的空腔相連通，左連接頭上設置有左出水孔，左出水孔與轉床上的回水管道相連通。本實用新型結構簡單，設計緊湊，使用方便，密封性好、裝卸方便、使用壽命長，能夠有效提高旋轉靶材的成品率，降低生產成本。

技術領域

本實用新型涉及一種用于等離子噴涂靶材作業的夾具，屬于機械設備技術領域。

背景技術

濺射靶材是生產多種功能薄膜的重要材料，在微電子、高清顯示、裝飾鍍膜、low-e玻璃等領域有著非常重要的作用，是這些行業不可替代的核心材料。其通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統，在適當工藝條件下，濺射在基板上形成各種功能薄膜。

等離子噴涂是靶材生產的一種非常重要的工藝。它是把粉末送入等離子火焰中，利用火焰的溫度和速度，將粉末材料熔化或軟化并沉積在旋轉的背管上形成涂層，同時等離子噴槍沿著背管的徑向往復行走，隨著這一過程的進行，涂層逐漸增厚，最終達到尺寸要求得到靶材。為了防止涂層和背管溫度過高發生變形和裂紋，需要在背管內部通入冷卻水，以使其溫度穩定在合適的范圍。這個生產過程需要一種夾具才能把背管連接到上述旋轉裝置上，同時夾具上有進水和出水功能，能使背管得到均勻的冷卻。

發明內容

本實用新型的目的是為了解決靶材在等離子噴涂過程中需要冷卻的問題，提供了一種結構簡單，設計緊湊的用于等離子噴涂靶材作業的夾具，能夠有效提高旋轉靶材的成品率，降低生產成本。

本實用新型采用如下技術方案：一種用于等離子噴涂靶材作業的夾具，包括左連接頭、右連接頭、連接套、阻擋螺母、背管、通水襯管，所述左連接頭的一端插入至背管端部的內孔中，所述背管的另一端連接有右連接頭，所述背管內套設有通水襯管，所述左連接頭通過法蘭連接在轉床的主軸上，所述右連接頭的中心錐度孔與轉床的尾座頂住，所述背管能夠隨轉床主軸轉動，所述左連接頭上設置有左進水孔，所述左進水孔與通水襯管相連通，所述右連接頭上設置有右進水孔，所述右連接頭上設置有右出水孔，所述右出水孔與背管和通水襯管形成的空腔相連通，所述左連接頭上設置有左出水孔，所述左出水孔與轉床上的回水管道相連通。

進一步的，所述背管的端部外圓設置有螺紋，阻擋螺母通過螺紋連接在背管上，連接套把阻擋螺母和左連接頭或右連接頭固定，并通過緊固螺栓將左連接頭或右連接頭壓緊在背管上。

進一步的，所述左出水孔和右出水孔均為多個，所述左出水孔和右出水孔分別均勻設置在進水孔周圍。

進一步的，所述左連接頭和右連接頭與背管的連接處分別設置有密封墊。

本實用新型結構簡單，設計緊湊，使用方便，密封性好、裝卸方便、使用壽命長，能夠有效提高旋轉靶材的成品率，降低生產成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的組裝結構示意圖。

圖2為本實用新型的左連接頭的結構示意圖。

圖3為本實用新型的左連接頭的側視圖。

附圖標記：左連接頭1、右連接頭2、背管3、通水襯管4、連接套5、阻擋螺母6、緊固螺栓7。轉床主軸8、左進水孔9、左出水孔10、密封墊11。

具體實施方式

下面將結合附圖對本實用新型作進一步的描述。