[實用新型]一種新型擴晶裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920978211.0
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN209929270U
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何海飛
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳平晨半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 11638 北京權(quán)智天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 李海燕

本實用新型公開了一種新型擴晶裝置，包括晶圓臺底座、晶片環(huán)、軸承、傳感器、齒輪一、齒輪二、導套座、導柱、導套、傳感器座、擴晶螺桿、感應(yīng)片、螺柱、上層板、壓塊、轉(zhuǎn)動環(huán)、壓環(huán)、皮帶、壓輪軸、擴晶托環(huán)、卡環(huán)座、轉(zhuǎn)動環(huán)座和卡環(huán)；本實用新型具有結(jié)構(gòu)合理簡單、生產(chǎn)成本低、安裝方便，功能齊全，本裝置采用正面平放裝卸設(shè)計，不會觸碰到晶片環(huán)表面也就保證了質(zhì)量；本實用新型中設(shè)置的轉(zhuǎn)動環(huán)，能夠?qū)h(huán)的角度進行旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，也就滿足了拾取角度的要求；本實用新型中轉(zhuǎn)動環(huán)邊緣處中設(shè)置有鎖緊圓弧長槽，從而保證了調(diào)節(jié)完成后通過螺釘使轉(zhuǎn)動環(huán)牢牢的固定在上層板上，也就提高了調(diào)節(jié)后使用的效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種擴晶裝置，特別涉及一種新型擴晶裝置。

背景技術(shù)

目前的晶圓固定工作臺都是采用左側(cè)推入裝放，這樣推入過程中工件會出現(xiàn)觸碰到晶圓片表面，影響晶片的質(zhì)量，其次裝入后晶圓片角度不可調(diào)整，要滿足需要必須卸載重新貼片再裝入，有可能重復多次，嚴重影響生產(chǎn)效率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種新型擴晶裝置，解決了背景技術(shù)中的問題。

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種技術(shù)方案：一種新型擴晶裝置，其創(chuàng)新點在于：包括晶圓臺底座、晶片環(huán)、軸承、傳感器、齒輪一、齒輪二、導套座、導柱、導套、傳感器座、擴晶螺桿、感應(yīng)片、螺柱、上層板、壓塊、轉(zhuǎn)動環(huán)、壓環(huán)、皮帶、壓輪軸、擴晶托環(huán)、卡環(huán)座、轉(zhuǎn)動環(huán)座和卡環(huán)；所述傳感器座固定連接在晶圓臺底座右側(cè)中央，所述傳感器座后側(cè)固定連接有感應(yīng)片和傳感器；所述導套座為四個，所述導套座均勻固定連接在晶圓臺底座上面，所述導套座中均固定連接有導套，且導套中均豎向活動連接有導柱；所述導柱頂部通過螺釘固定連接在上層板底部對應(yīng)的位置；所述擴晶螺桿為四個，所述擴晶螺桿分別位于對應(yīng)的導套座左側(cè)，所述擴晶螺桿下側(cè)通過壓環(huán)活動連接在晶圓臺底座中，所述擴晶螺桿下側(cè)軸與壓環(huán)內(nèi)側(cè)之間均設(shè)有軸承，所述擴晶螺桿下側(cè)軸上均固定就有齒輪一，且齒輪一之間通過皮帶相連接在一起，所述擴晶螺桿頂部設(shè)有螺柱；所述齒輪二固定連接在其中一個齒輪一底部；所述壓塊為四個，所述壓塊內(nèi)部螺紋孔分別活動連接在對應(yīng)的螺柱上，所述壓塊均固定連接在上層板上；所述上層板下側(cè)設(shè)有數(shù)個壓輪軸，所述上層板內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動環(huán)座；所述轉(zhuǎn)動環(huán)座內(nèi)部活動連接有轉(zhuǎn)動環(huán)；所述轉(zhuǎn)動環(huán)內(nèi)部下側(cè)固定連接有擴晶托環(huán)，所述轉(zhuǎn)動環(huán)上側(cè)固定連接有卡環(huán)座；所述卡環(huán)與卡環(huán)座內(nèi)側(cè)相連接；所述晶片環(huán)通過卡環(huán)固定連接在擴晶托環(huán)上面。

作為優(yōu)選，所述導柱之間相互平行。

作為優(yōu)選，所述擴晶螺桿的中心線與導柱的中心線之間相互平行。

作為優(yōu)選，所述皮帶為同步帶。

作為優(yōu)選，所述轉(zhuǎn)動環(huán)邊緣處中設(shè)有鎖緊圓弧長槽。

作為優(yōu)選，所述卡環(huán)頂面設(shè)有旋轉(zhuǎn)卡緊箭頭。

本實用新型的有益效果：

(1)本實用新型具有結(jié)構(gòu)合理簡單、生產(chǎn)成本低、安裝方便，功能齊全，本裝置采用正面平放裝卸設(shè)計，不會觸碰到晶片環(huán)表面也就保證了質(zhì)量。

(2)本實用新型中設(shè)置的轉(zhuǎn)動環(huán)，能夠?qū)h(huán)的角度進行旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，也就滿足了拾取角度的要求，提高生產(chǎn)效率。

(3)本實用新型中轉(zhuǎn)動環(huán)邊緣處中設(shè)置有鎖緊圓弧長槽，從而保證了調(diào)節(jié)完成后通過螺釘使轉(zhuǎn)動環(huán)牢牢的固定在上層板上，也就提高了調(diào)節(jié)后使用的效果。

(4)本實用新型中皮帶為同步帶，能夠驅(qū)使所有的齒輪一、擴晶螺桿和螺柱一起同步旋轉(zhuǎn)，從而能夠?qū)ι蠈影寮捌鋬?nèi)部晶片環(huán)的高度進行調(diào)節(jié)，也就進一步提高使用的效果。

(5)本實用新型中設(shè)置的導柱和導套，能夠確保上層板升降移動時候的水平度，也就進一步提高了調(diào)節(jié)后產(chǎn)生的精度。

附圖說明