[實用新型]一種用于多晶硅生產(chǎn)設(shè)備的組合式壓力環(huán)

有效

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• 申請日: 2019-06-27
• 公開（公告）號: CN210168252U
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢志香
• 申請（專利權(quán)）人: 泰州榮業(yè)機(jī)械制造有限公司
• 主分類號: H05B7/02
• 分類號: H05B7/02;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于多晶硅生產(chǎn)設(shè)備的組合式壓力環(huán)，包括環(huán)體(1)、壓力外殼(2)、水泵(5)和水箱(6)，其特征在于：所述環(huán)體(1)側(cè)面通過螺絲釘固定安裝有三個壓力外殼(2)，所述壓力外殼(2)貫穿環(huán)體(1)設(shè)置，所述環(huán)體(1)內(nèi)部開設(shè)有換熱管道(9)，所述換熱管道(9)用于循環(huán)流動冷卻用水，所述壓力外殼(2)與換熱管道(9)貫通設(shè)置，所述換熱管道(9)進(jìn)水端貫通連接有進(jìn)水管(7)，所述換熱管道(9)出水端貫通連接有出水管(3)；所述水箱(6)頂部通過螺絲釘固定安裝有水泵(5)，所述水泵(5)進(jìn)水端與水箱(6)貫通連接，所述水泵(5)用于將水箱(6)內(nèi)部的水泵送至進(jìn)水管(7)中，所述水箱(6)外壁通過螺絲釘固定安裝有PLC(11)，所述水泵(5)與PLC(11)信號端電性連接，所述PLC(11)用于控制水泵(5)的接通電源或者關(guān)閉電源。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于多晶硅生產(chǎn)設(shè)備的組合式壓力環(huán)，其特征在于：所述壓力外殼(2)內(nèi)部滑動插接有頂塊(10)，所述頂塊(10)用于頂在電極上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于多晶硅生產(chǎn)設(shè)備的組合式壓力環(huán)，其特征在于：所述水箱(6)位于底部加水口處通過螺絲釘固定安裝有單向閥門(13)，所述單向閥門(13)用于在向水箱(6)內(nèi)部加水時阻止水箱(6)內(nèi)部的高壓水噴出。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于多晶硅生產(chǎn)設(shè)備的組合式壓力環(huán)，其特征在于：所述水箱(6)頂部位于水泵(5)一側(cè)通過螺絲釘固定安裝有泄壓閥(4)，所述泄壓閥(4)用于在水箱(6)內(nèi)部壓力過高時排出水箱(6)內(nèi)部的氣壓。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于多晶硅生產(chǎn)設(shè)備的組合式壓力環(huán)，其特征在于：所述水箱(6)頂部位于水泵(5)另一側(cè)通過螺絲釘固定安裝有水位傳感器(8)，所述水位傳感器(8)與PLC(11)信號輸入端電性連接，所述水位傳感器(8)用于監(jiān)測水箱(6)內(nèi)部的水位高度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于多晶硅生產(chǎn)設(shè)備的組合式壓力環(huán)，其特征在于：所述PLC(11)底部集成安裝有警報器(12)，所述警報器(12)用于向用戶發(fā)出警報。