[實用新型]一種微電子封裝器件可靠性在線測試裝置

有效

• 申請號: 201920976164.6
• 申請日: 2019-06-26
• 公開（公告）號: CN210604872U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 吳光華;蔣美仙;陳勇;蘭秀菊;裴植;王成;易文超
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;H01L21/66
• 代理公司: 杭州天正專利事務所有限公司 33201
• 代理人: 黃美娟;王兵

1.一種微電子封裝器件可靠性在線測試裝置，其特征在于，包括：

箱體，具有一用于放置被測器件的試驗腔，并且箱體設有可與試驗腔連通的測試窗口，測試窗口內設有多干根測試導線；

測試件固定裝置，設置于箱體的試驗腔內，用于固定被測器件；

以及溫濕度控制裝置，包括控制部和檢測部，控制部設置在箱體頂部，用于控制試驗腔內的溫度和濕度；檢測部設置在試驗腔內，并且檢測部的信號輸出端與控制部的信號輸入端電連接，用于將試驗腔內采集的溫度和濕度信息傳輸給控制部。

2.如權利要求1所述的一種微電子封裝器件可靠性在線測試裝置，其特征在于：所述箱體分為三層，從外向內依次為箱體外層、中間隔熱絕緣層以及箱體內層。

3.如權利要求2所述的一種微電子封裝器件可靠性在線測試裝置，其特征在于：所述測試窗口設置在箱體側壁，且測試窗口內設有多干根測試導線，其中測試導線具有兩個連接端，分別為第一連接端和第二連接端，其中第一連接端伸入試驗腔內，用于與被測器件相連，第二連接端落在箱體之外，用于實現被測器件與外部檢測設備之間的電連接以對被測器件進行在線測試。

4.如權利要求1所述的一種微電子封裝器件可靠性在線測試裝置，其特征在于：所述測試件固定裝置包括用于放置被測器件的測試平臺以及用于壓緊被測器件的緊固壓桿，所述測試平臺固裝在試驗腔底部，測試平臺內設有真空氣道，并且所述真空氣道通過真空氣管與真空泵管路連通，用于吸附置于測試平臺上的被測器件；所述緊固壓桿的固定部安裝在測試平臺上，并保持緊固壓桿的壓緊部位于測試平臺的吸附面上，使得被測器件置于壓緊部與吸附面之間。

5.如權利要求1所述的一種微電子封裝器件可靠性在線測試裝置，其特征在于：所述控制部包括控制器和水箱，其中控制器包括加熱部和控制單元，其中加熱部的加熱端伸入試驗腔內，并且加熱部的控制端與控制單元的信號輸出端電連接；水箱上端的注水口配有密封蓋，水箱底部設有與試驗腔管路連通的加濕口，且加濕口與試驗腔之間的管路上設有控制閥，所述控制閥的控制端與所述控制單元的控制端電連接。

6.如權利要求1所述的一種微電子封裝器件可靠性在線測試裝置，其特征在于：所述檢測部為分布在箱體內壁上的溫濕度傳感器，其中溫濕度傳感器的信號輸出端與控制單元相應輸入端電連接。