[實用新型]介質隔離式壓力傳感器

有效

• 申請號: 201920973794.8
• 申請日: 2019-06-26
• 公開（公告）號: CN210089909U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 張兵兵;肖濱;李剛
• 申請（專利權）人: 昆山靈科傳感技術有限公司
• 主分類號: G01L9/02
• 分類號: G01L9/02;G01L19/06
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種介質隔離式壓力傳感器，其特征在于，包括封裝模塊，所述封裝模塊包括：

基板；

柔性殼體，固定在所述基板上，所述柔性殼體與所述基板形成容納腔；

至少一壓力傳感器模塊，位于所述容納腔內，所述壓力傳感器模塊固定在所述基板上，且與所述基板電連接；

介質液體，充滿所述容納腔；

外界壓力能夠通過所述柔性殼體、所述介質液體傳導至所述壓力傳感器封裝模塊。

2.根據權利要求1所述的介質隔離式壓力傳感器，其特征在于，所述柔性殼體通過膠層固定在所述基板上。

3.根據權利要求1所述的介質隔離式壓力傳感器，其特征在于，所述壓力傳感器模塊包括襯底、保護殼、多個功能芯片，所述襯底固定在所述基板上，所述保護殼固定在所述襯底上，所述保護殼與所述襯底形成腔體，多個功能芯片位于所述腔體內，且固定在所述襯底上，所述功能芯片通過所述襯底與所述基板電連接，所述保護殼具有一開孔，所述介質液體通過所述開孔進入所述腔體內，并充滿所述腔體。

4.根據權利要求1所述的介質隔離式壓力傳感器，其特征在于，所述基板上具有至少一注入孔及至少一堵塞所述注入孔的栓塞，所述介質液體通過所述注入孔注入所述容納腔。

5.根據權利要求1所述的介質隔離式壓力傳感器，其特征在于，所述介質隔離式壓力傳感器還包括金屬外殼，所述金屬外殼具有放置腔及與所述放置腔連通的測量孔，所述封裝模塊被密封于所述放置腔內，所述柔性殼體頂端朝向所述測量孔。

6.根據權利要求5所述的介質隔離式壓力傳感器，其特征在于，所述金屬外殼的側壁抵壓所述基板未被所述柔性殼體覆蓋的表面，以密封所述封裝模塊。

7.根據權利要求6所述的介質隔離式壓力傳感器，其特征在于，在所述金屬外殼的側壁與所述基板之間具有一密封圈，所述金屬外殼的側壁及所述基板擠壓所述密封圈，以密封所述封裝模塊。

8.根據權利要求5所述的介質隔離式壓力傳感器，其特征在于，所述柔性殼體與所述基板接觸的一端具有沿所述基板延伸的密封部，所述金屬外殼的側壁抵壓所述密封部，以密封所述封裝模塊。

9.根據權利要求5所述的介質隔離式壓力傳感器，其特征在于，所述介質隔離式壓力傳感器還包括壓緊墊塊，所述壓緊墊塊位于所述放置腔內，且所述壓緊墊塊抵壓所述基板背離所述柔性殼體的表面。

10.根據權利要求5所述的介質隔離式壓力傳感器，其特征在于，所述金屬外殼還包括一放置口，所述放置口與所述測量孔相對設置，密封膠自所述放置口灌裝，以密封所述封裝模塊，所述封裝模塊的電連接線自所述密封膠中延伸至所述介質隔離式壓力傳感器的外部。