[實用新型]搬送裝置清潔系統

有效

• 申請號: 201920958039.2
• 申請日: 2019-06-21
• 公開（公告）號: CN210647529U
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 卓飛
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B13/00
• 代理公司: 上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

本實用新型涉及清潔設備技術領域，公開了一種搬送裝置清潔系統，包括：容納搬送裝置的清潔室；走行所述搬送裝置的維修軌道，所述清潔室設置在所述維修軌道上；第一傳感器，所述第一傳感器設置在所述維修軌道上，所述第一傳感器與所述清潔室連接。本實用新型提供的搬送裝置清潔系統能夠在短時間內將搬送裝置清潔干凈的同時，減少人力成本、提高搬送裝置的利用率。

技術領域

本實用新型涉及清潔設備技術領域，特別涉及一種搬送裝置清潔系統。

背景技術

高架起重搬運器(Overhead Hoist Transports，簡稱OHT)是一種自動化搬送裝置，能夠在空中軌道上行駛，并能夠通過皮帶傳動起重機構“直接”進入保管設備或工藝設備的裝卸口。現有技術中OHT的一種應用場景為：將裝載芯片的前開式晶圓運載盒(FrontOpening Unified Pod，簡稱FOUP)運送至芯片生產機臺的前開式接口機械標準系統，然而此種應用場景容易將OHT上的粉塵震落并沾附于FOUP上，當生產機臺開啟FOUP門的時候，因機臺內為真空狀態(負壓)，會將FOUP上與環境中的粉塵吸入生產機臺內，使得粉塵散落在芯片上，從而使生產出來的芯片有嚴重缺陷。理想的解決辦法是定期去除附著在OHT上及分布于軌道上的粉塵，尤其是囤積在OHT上的粉屑顆粒(Particle)。現有技術中清潔OHT的方法是將OHT從工作軌道上取下，人工用氣槍及真空吸塵器對OHT進行清潔。

發明人發現現有技術至少存在如下問題：人工將OHT從工作軌道上取下以及人工清潔OHT均需消耗較大的人力成本，且人工清潔的時間及搬運OHT的時間較長，導致需要耗費較多的時間才能使OHT重新回到軌道進行工作，OHT的利用率不高。

實用新型內容

本實用新型實施方式的目的在于提供一種搬送裝置清潔系統，其能夠在短時間內將搬送裝置清潔干凈的同時，減少人力成本、提高搬送裝置的利用率。

為解決上述技術問題，本實用新型的一個實施方式提供了一種搬送裝置清潔系統，包括：容納搬送裝置的清潔室；走行所述搬送裝置的維修軌道，所述清潔室設置在所述維修軌道上；第一傳感器，所述第一傳感器設置在所述維修軌道上，所述第一傳感器與所述清潔室連接。

本實用新型的實施方式相對于現有技術而言，包括維修軌道以及位于維修軌道上的清潔室和與清潔室連接的第一傳感器，使得搬送裝置在需要清潔時，能夠經由維修軌道進入清潔室內，第一傳感器在感應到搬送裝置后，清潔室開始清洗搬送裝置，從而實現了搬送裝置的自動清潔，由于整個清潔過程搬送裝置無需從工作軌道中取下，只需駛入清潔室即可，從而節省了取下搬送裝置所耗費的時間，又由于清潔室能夠自動清潔搬送裝置無需人工清潔，使得搬送裝置的清潔過程無需消耗人力成本，從而實現了搬送裝置清潔系統能夠在短時間內將搬送裝置清潔干凈的同時，還能夠減少人力成本；此外，搬送裝置在清潔完成后也無需再次安裝，從清潔室內駛出即可重新開始工作，從而提高了搬送裝置的利用率。

另外，所述維修軌道設有第二定位裝置，所述第二定位裝置與所述第一傳感器連接。

另外，還包括搬送裝置工作軌道，所述搬送裝置工作軌道與所述維修軌道連接。通過此種方式，使得搬送裝置工作時在搬送裝置工作軌道行駛，在需要清潔時由搬送裝置工作軌道駛入維修軌道，以在維修軌道內的清潔室完成清潔，從而使得清潔室的設置不會影響搬送裝置的正常工作。

另外，所述搬送裝置工作軌道還設置有通信裝置，所述通信裝置與所述清潔室通信連接。通過此種方式，使得通信裝置能夠控制清潔室自動清潔搬送裝置，從而使搬送裝置清潔系統更加智能化與自動化。

另外，所述搬送裝置工作軌道上設置有第二傳感器，所述第二傳感器與所述通信裝置通信連接。

另外，所述搬送裝置工作軌道上設置有第一定位裝置，所述第一定位裝置與所述通信裝置通信連接。

另外，所述清潔室包括用于清潔所述搬送裝置的清潔室主體以及與所述清潔室主體圍設成封閉空間的室門。