[實用新型]一種平衡熱場的區熔線圈

有效

• 申請號: 201920954908.4
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN210341121U
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 劉琨;郝大維;楚占賓;陳玉橋;王克旭;代常雷;萬靜;王遵義;王聚安
• 申請（專利權）人: 天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: C30B13/20
• 分類號: C30B13/20;H05B6/36;H05B6/42
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 王耀云

本實用新型提供了一種平衡熱場的區熔線圈，包括線圈本體，所述線圈本體上表面的中心處向下設有一個環形槽，沿所述環形槽底部開口邊緣處向下設有錐形槽，所述錐形槽的底端邊緣處與線圈中心孔的邊緣處連接在一起，且所述錐形槽的截面尺寸從上到下依次減小，所述線圈本體內部在環形槽的外圍設有繞環形槽一圈的線圈水路，所述線圈水路在環形結構上對稱設置有多個弧形的彎折部。本實用新型有益效果：在原有熱場線圈結構的基礎上，改變其內部循環水路走向，加大熱場線圈循環水流量，在后期加工使用過程中能夠根據水路走向改變線圈鋸口位置，同時改變熱場結構形狀；通過改變線圈臺階結構，增加熱場化料能力，達到拉晶過程中的熱場穩定及線圈水溫可控。

技術領域

本實用新型屬于區熔線圈技術領域，尤其是涉及一種平衡熱場的區熔線圈。

背景技術

區熔懸浮法拉晶過程中，作為熱場的核心備件，線圈是區熔單晶生長的重要組成部分，其作用是在單晶生長過程中為其提供穩定的熱場，針對成晶的重要性不言而喻。但隨著使用時間的增加，現有的區熔線圈結構如圖1所示，在其反復的升溫降溫的循環后，熱場線圈各部分會有明顯的不可修復形變，其所產生的熱場變得不穩定，影響成晶。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型旨在提出一種平衡熱場的區熔線圈，以解決上述問題的不足之處。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種平衡熱場的區熔線圈，包括線圈本體，所述線圈本體為圓形板狀結構，所述線圈本體中心處設有一個線圈中心孔，所述線圈本體上表面的中心處向下設有一個環形槽，沿所述環形槽底部開口邊緣處向下設有錐形槽，所述錐形槽的底端邊緣處與線圈中心孔的邊緣處連接在一起，且所述錐形槽的截面尺寸從上到下依次減小，所述線圈本體內部在環形槽的外圍設有繞環形槽一圈的線圈水路，所述線圈水路在環形結構上對稱設置有多個弧形的彎折部，且所述線圈水路兩端位于線圈本體上部且分別連接進水口和出水口。

進一步的，所述彎折部的內側均朝向線圈中心孔位置。

進一步的，所述彎折部數量為四個。

進一步的，所述線圈水路上的四個彎折部的對角連接線相交形成X型。

進一步的，所述線圈本體為銅材質。

進一步的，所述線圈本體上端設有兩個連接塊，所述連接塊上對應進水口和出水口的位置處設有兩個分別與進水口和出水口連通的通孔，且每個所述連接塊上還設有多個螺栓孔。

相對于現有技術，本實用新型所述的平衡熱場的區熔線圈具有以下優勢：

本實用新型所述的平衡熱場的區熔線圈在原有熱場線圈結構的基礎上，改變其內部循環水路走向，加大熱場線圈循環水流量，在后期加工使用過程中，能夠根據水路走向改變線圈鋸口位置，比如對于改進后的線圈，后期加工使用時需要沿彎折部的中間位置徑向向外鋸口，同時改變了熱場結構形狀；通過改變線圈臺階結構，增加熱場化料能力，達到拉晶過程中的熱場穩定及線圈水溫可控；該結構有效延長了線圈的使用壽命。

附圖說明

構成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1為現有的區熔線圈結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例所述的平衡熱場的區熔線圈結構示意圖。

附圖標記說明：

1-線圈本體；2-線圈水路；3-彎折部；4-環形槽；5-線圈中心孔；6-錐形槽。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。