[實用新型]研磨液手臂以及化學機械研磨機臺

有效

• 申請號: 201920954848.6
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN210650151U
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 岳志剛;辛君;林宗賢
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B53/017;B24B57/02
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種研磨液手臂，其特征在于，所述研磨液手臂包括殼體、研磨墊清潔刷以及驅動機構，所述研磨墊清潔刷設置于所述殼體下方，所述驅動機構與所述研磨墊清潔刷連接，并用于驅動所述研磨墊清潔刷移動及旋轉以使所述研磨墊清潔刷接觸并清潔研磨墊。

2.如權利要求1所述的研磨液手臂，其特征在于，所述驅動機構包括第一氣缸、第二氣缸、馬達以及支撐部件，所述研磨墊清潔刷的一端與所述馬達連接，所述研磨墊清潔刷的另一端通過所述支撐部件與所述第二氣缸連接，所述馬達與所述第一氣缸連接。

3.如權利要求2所述的研磨液手臂，其特征在于，所述研磨墊清潔刷包括滾軸、套管以及刷毛，所述套管穿設固定在所述滾軸上，所述刷毛設置在所述套管表面。

4.如權利要求3所述的研磨液手臂，其特征在于，所述滾軸的一端通過齒輪、鏈輪或者聯軸器與所述馬達連接，所述支撐部件通過第一連接桿與所述第二氣缸連接，所述馬達通過第二連接桿與所述第一氣缸連接。

5.如權利要求3所述的研磨液手臂，其特征在于，所述支撐部件上設置有開口，所述滾軸嵌入所述支撐部件的開口中。

6.如權利要求2所述的研磨液手臂，其特征在于，所述第一氣缸和第二氣缸處于非工作狀態時，所述研磨墊清潔刷與所述殼體底部的距離為2cm～3cm；所述第一氣缸和第二氣缸處于工作狀態時，所述研磨墊清潔刷與所述殼體底部的距離為4cm～5cm。

7.如權利要求1至6中任一項所述的研磨液手臂，其特征在于，所述研磨液手臂還包括噴嘴、水供應管道以及設置于所述水供應管道上的閥門，所述噴嘴與所述水供應管道連通，且所述噴嘴的開口朝向研磨墊。

8.如權利要求7所述的研磨液手臂，其特征在于，所述噴嘴固定于所述殼體的側面上。

9.一種化學機械研磨機臺，其特征在于，所述化學機械研磨機臺包括權利要求1～8中任一項所述的研磨液手臂。

10.如權利要求9所述的化學機械研磨機臺，其特征在于，所述化學機械研磨機臺還包括控制系統，所述控制系統用以控制所述驅動機構。