[實(shí)用新型]一種進(jìn)氣裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920954087.4
• 申請(qǐng)日: 2019-06-24
• 公開（公告）號(hào): CN211232409U
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林佳繼;高忠祥;劉群;朱太榮;董小輝;林依婷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市拉普拉斯能源技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F17D1/02
• 分類號(hào): F17D1/02;F16L41/02
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

本實(shí)用新型公開了一種進(jìn)氣裝置，包括主管和外套管，主管包括進(jìn)氣口和出氣口，主管內(nèi)側(cè)形成氣體流通通道；外套管包括進(jìn)氣口和出氣口，外套管套在主管外形成氣體流通層。本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、對(duì)外只要一個(gè)進(jìn)氣孔的氣體流通的一種進(jìn)氣裝置。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及進(jìn)氣裝置領(lǐng)域，更具體的說(shuō)，它涉及一種設(shè)備的進(jìn)氣裝置。

背景技術(shù)

目前傳統(tǒng)的LPCVD，擴(kuò)散，氧化，CVD，APCVD等設(shè)備的進(jìn)氣裝置在使用過(guò)程中需要不斷的進(jìn)氣，且為了更好地實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣均勻、穩(wěn)定，能很好的保證后續(xù)加工的穩(wěn)定性，設(shè)備主體是采用雙側(cè)進(jìn)氣的方式，即通過(guò)設(shè)置兩個(gè)進(jìn)氣孔進(jìn)行氣體運(yùn)輸。此設(shè)置是解決了不同氣體進(jìn)入的方式，但是同樣增加了整體設(shè)備的體積和結(jié)構(gòu)的改良要求。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、對(duì)外只要一個(gè)進(jìn)氣孔的氣體流通的一種進(jìn)氣裝置。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種進(jìn)氣裝置，包括主管和外套管，主管包括進(jìn)氣口和出氣口，主管內(nèi)側(cè)形成氣體流通通道；外套管包括進(jìn)氣口和出氣口，外套管套在主管外形成氣體流通層。

進(jìn)一步的，還包括進(jìn)氣管，進(jìn)氣管與外套管的進(jìn)氣口連接。

進(jìn)一步的，進(jìn)氣管的軸徑與主管的軸徑垂直。

進(jìn)一步的，主管和外套管之間通過(guò)焊接連接固定，且都采用耐高溫材質(zhì)。耐高溫材質(zhì)采用石英、不銹鋼、氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷、碳化硅、銅等材料中的一種或多種。

進(jìn)一步的，還包括支撐塊，支撐塊設(shè)置在氣體流通層內(nèi)。

進(jìn)一步的，支撐塊設(shè)置在進(jìn)氣管遠(yuǎn)離主管連接設(shè)備的一側(cè)。

進(jìn)一步的，支撐塊設(shè)置至少三塊，且均勻分布。

進(jìn)一步的，外套管采用多層套管，層與層之間形成氣體流通層。

進(jìn)一步的，主管和外套管之間通過(guò)弧形部連接，弧形部整體呈環(huán)形狀，其內(nèi)徑越靠近內(nèi)層的主管就越小。

進(jìn)一步的，進(jìn)氣管數(shù)量與套管層數(shù)相同，且多個(gè)進(jìn)氣管之間交錯(cuò)設(shè)置。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

1.本方案結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、對(duì)外只要一個(gè)進(jìn)氣孔、整體體積較小，設(shè)備改動(dòng)少，整體成本低的一種進(jìn)氣裝置。

2.本方案多層套管分別由不同管徑大小的石英管焊接而成，管路與管路之間實(shí)現(xiàn)相互隔開互不干擾。

3.本方案多層套管尾端焊有三個(gè)支撐塊，可以有效地增強(qiáng)內(nèi)管的強(qiáng)度使其不易在加工或運(yùn)輸中因震動(dòng)而斷裂。

4.本方案多層套管的設(shè)計(jì)將多路進(jìn)氣隔開讓兩路進(jìn)氣不在垂直方向交匯，進(jìn)氣互不干擾，氣流更加順暢，從而對(duì)氣體流量控制更加準(zhǔn)確。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的部分剖面圖。

圖中標(biāo)識(shí)：主管1、進(jìn)氣管2、氣體流通層3、支撐塊4、弧形部5和外套管6。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

實(shí)施例一：