[實用新型]具有改良型蓋子的轉(zhuǎn)子裝置

有效

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• 申請日: 2019-06-21
• 公開（公告）號: CN210531182U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設計）人: 陳家賢;林琨育
• 申請（專利權）人: 承輝先進股份有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/32;F04D29/52;F04D29/70
• 代理公司: 上海元好知識產(chǎn)權代理有限公司 31323
• 代理人: 徐雯瓊;劉琰

本實用新型揭露一種具有改良型蓋子的轉(zhuǎn)子裝置，適用于設置于渦輪分子式真空泵。具有改良型蓋子的轉(zhuǎn)子裝置包含旋轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)子本體及蓋子；旋轉(zhuǎn)軸的一端設置于渦輪分子式真空泵；轉(zhuǎn)子本體連結于旋轉(zhuǎn)軸，且轉(zhuǎn)子本體相對于旋轉(zhuǎn)軸的一端內(nèi)凹形成鎖附空間；蓋子包含連結單元及覆蓋單元，連結單元的一端連結旋轉(zhuǎn)軸的另一端，覆蓋單元的一端連結此連結單元的另一端，且承靠于轉(zhuǎn)子本體相對于旋轉(zhuǎn)軸的一端，并覆蓋鎖附空間的開口，且覆蓋單元的側(cè)壁及另一端的表面為平滑曲面。

技術領域

本實用新型是有關于一種用于渦輪分子式真空泵的轉(zhuǎn)子裝置，特別是有關于一種具有改良型蓋子的轉(zhuǎn)子裝置。

背景技術

目前現(xiàn)有技術的用于真空抽氣的渦輪分子式真空泵，可驅(qū)動連結于其上的轉(zhuǎn)子以進行真空抽氣的制程，此外，轉(zhuǎn)子中心將朝渦輪分子式真空泵的方向內(nèi)凹形成鎖附空間，以通過如螺栓等固定組件組合轉(zhuǎn)子及渦輪分子式真空泵。然而，當渦輪分子式真空泵使用于晶圓或電子基板等蝕刻制程加工時，加工過程中所產(chǎn)生的粉塵顆粒容易積存于鎖附空間，且轉(zhuǎn)子于加工過程中所產(chǎn)生的氣流容易使鎖附空間中的粉塵顆粒隨著氣流飄回加工區(qū)域，故可能導致加工區(qū)域的晶圓或電子基板受到污染。

目前現(xiàn)有技術的用于渦輪分子式真空泵的轉(zhuǎn)子額外通過螺栓將蓋子鎖附于鎖附空間的上，以防止粉塵顆粒飄入鎖附空間中，然而螺栓鎖固后具有余隙空間而可能導致粉塵顆粒積存于其中，因此亦可能導致粉塵顆粒由余隙空間中飄回加工區(qū)域；另目前部分現(xiàn)有的蓋子可通過螺紋配合而鎖固于旋轉(zhuǎn)軸，然而其拆卸時需通過治具連結蓋子上的凹陷結構，再通過扳動組件連結治具并對其施力以間接帶動蓋子旋出旋轉(zhuǎn)軸，此過程容易因施力角度或力道不當進而使凹陷結構產(chǎn)生損壞而導致用戶需經(jīng)常更換蓋子；此外，凹陷結構亦可能積存粉塵或制程生成物，且凹陷結構將擾亂流經(jīng)蓋子的氣流，故更容易使粉塵顆粒飄回加工區(qū)域進而導致晶圓或電子基板受到污染。

綜合上述問題，本實用新型的發(fā)明人設計了一種具有改良型蓋子的轉(zhuǎn)子裝置，以針對現(xiàn)有技術的缺失加以改善，進而增進產(chǎn)業(yè)上的實施利用。

實用新型內(nèi)容

根據(jù)上述現(xiàn)有技術的問題，本實用新型的目的提供一種具有改良型蓋子的轉(zhuǎn)子裝置，適用于設置于渦輪分子式真空泵。具有改良型蓋子的轉(zhuǎn)子裝置包含旋轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)子本體及蓋子；旋轉(zhuǎn)軸的一端設置于渦輪分子式真空泵；轉(zhuǎn)子本體連結于旋轉(zhuǎn)軸，且轉(zhuǎn)子本體相對于旋轉(zhuǎn)軸的一端內(nèi)凹形成鎖附空間；蓋子包含連結單元及覆蓋單元，連結單元的一端連結旋轉(zhuǎn)軸的另一端，覆蓋單元的一端連結此連結單元的另一端，且承靠于轉(zhuǎn)子本體相對于旋轉(zhuǎn)軸的一端，并覆蓋鎖附空間的開口，且覆蓋單元的側(cè)壁及另一端的表面為平滑曲面。

優(yōu)選地，覆蓋單元的一端可朝對應于連結單元的方向延伸形成環(huán)形凸肋，環(huán)形凸肋系貼合鎖附空間的側(cè)壁。

優(yōu)選地，覆蓋單元可包含承靠部，承靠部位于覆蓋單元的一端，且位于覆蓋單元的側(cè)壁與環(huán)形凸肋的間，承靠部承靠于轉(zhuǎn)子本體相對于旋轉(zhuǎn)軸的一端。

優(yōu)選地，覆蓋單元的一端可內(nèi)凹形成第一盲孔，第一盲孔的側(cè)壁包含第一內(nèi)螺紋，連結單元的另一端的外表面系包含第一外螺紋，第一外螺紋與第一內(nèi)螺紋相互螺合，覆蓋單元固定于連結單元。

優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)軸的另一端可內(nèi)凹形成第二盲孔，第二盲孔的側(cè)壁包含第二內(nèi)螺紋，連結單元的一端的外表面包含第二外螺紋，第二外螺紋與第二內(nèi)螺紋相互螺合，連結單元固定于旋轉(zhuǎn)軸。

優(yōu)選地，覆蓋單元的另一端可為圓錐形，覆蓋單元的另一端的中心朝相對于連結單元的方向延伸凸起。

優(yōu)選地，具有改良型蓋子的轉(zhuǎn)子裝置可還包含多個固定組件，多個固定組件組合轉(zhuǎn)子本體及旋轉(zhuǎn)軸，多個固定組件的一端位于鎖附空間，多個固定組件的另一端位于旋轉(zhuǎn)軸的中，且多個固定組件以環(huán)型數(shù)組而鄰近地設置于旋轉(zhuǎn)軸周圍。

優(yōu)選地，連結單元可為不銹鋼連結單元，覆蓋單元為鋁合金覆蓋單元。