[實用新型]一種探針式電測機

有效

• 申請號: 201920943108.2
• 申請日: 2019-06-21
• 公開（公告）號: CN210514410U
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 張杰;朱雁;曾一鑫
• 申請（專利權）人: 信利光電股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 廖苑濱

1.一種探針式電測機，包括測試頭以及升降機構，所述測試頭包括探針以及用于固定探針的冶具基板，所述升降機構驅動探針下壓；其特征在于，所述探針式電測機還包括控制器，所述控制器與升降機構連接，所述探針在控制器的控制下具有多個工作位置。

2.如權利要求1所述的探針式電測機，其特征在于，所述探針在升降機構的驅動下至少具有第一工作位置和第二工作位置，所述探針在第一工作位置時的高度大于所述探針在第二工作位置時的高度。

3.如權利要求2所述的探針式電測機，其特征在于，所述探針式電測機包括測試臺面，所述測試臺面具有高度不同的多個區域；所述冶具基板包括多個固定板，多個固定板分別對應于測試臺面高度不同的多個區域；所述探針式電測機還包括多個驅動部件，多個固定板都分別連接獨立的驅動部件；所述多個固定板在不同驅動部件的帶動下，分別具有不同的下壓量。

4.如權利要求2所述的探針式電測機，其特征在于，所述探針式電測機包括測試臺面，所述測試臺面具有高度不同的多個區域；所述冶具基板包括多個固定板，多個固定板分別對應于測試臺面高度不同的多個區域；所述探針式電測機還包括微調機構，所述多個固定板都分別連接獨立的微調機構，所述多個固定板在微調機構的調節下具有不同的高度。

5.如權利要求1所述的探針式電測機，其特征在于，所述探針式電測機還包括CCD自動抓標對位機構。

6.如權利要求1所述的探針式電測機，其特征在于，所述探針為彈性探針。

7.如權利要求6所述的探針式電測機，其特征在于，所述探針包括探針頭、套管、彈簧和接線端子。