[實用新型]一種新型超薄涂層游星輪夾具

有效

• 申請號: 201920943007.5
• 申請日: 2019-06-21
• 公開（公告）號: CN210132390U
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發明（設計）人: 林琳;胡中偉;賴志遠;于怡青;徐西鵬
• 申請（專利權）人: 華僑大學
• 主分類號: B24B37/28
• 分類號: B24B37/28
• 代理公司: 廈門市首創君合專利事務所有限公司 35204
• 代理人: 張松亭;張迪

本實用新型提供了一種新型超薄涂層游星輪夾具，所述游星輪夾具的上表面及下表面均設置有涂層，所述游星輪夾具沿周向設置有多個鋸齒；所述游星輪夾具上開設有若干個裝載孔，用于放置超薄工件；所述工件的厚度大于所述游星輪夾具的厚度。應用本技術方案可實現提供游星輪夾具的剛度和強度，減小游星輪夾具的變形風險，提高游星輪夾具的使用壽命。

技術領域

本實用新型涉及精密加工領域，具體是指一種新型超薄涂層游星輪夾具。

背景技術

隨著科學技術的發展，超薄工件在眾多領域扮演著重要角色，如計算機磁盤、光學鏡片和半導體襯底等。這類工件通常要求具有很高的表面平整度和表面質量。研磨和拋光都屬于精密加工，是超薄工件常用的加工手段。超薄工件經過平面研磨能夠獲得微米級的表面平整度，經過拋光則能獲得極低的表面粗糙度。雙面行星研磨/拋光則是指在雙面行星研磨/拋光設備上進行研磨/拋光加工，由于雙面行星研磨/拋光時工件的上下兩個表面同時進行材料去除，因此加工效率比傳統的單面研磨/拋光更高，同時，因為雙面行星研磨/拋光時磨粒運動軌跡更加復雜和均勻，所以工件表面質量也更好。以上優點使得雙面行星研磨/拋光成為超薄工件的首選加工方法。

傳統的雙面行星研磨/拋光要求游星輪夾具的厚度必須小于工件厚度。以半導體襯底為例，出于對縮減材料成本的需求，襯底的厚度規格呈現越來越薄的趨勢，相應的，游星輪夾具的厚度也要求越來越薄。這使得游星輪夾具的強度和剛度難以滿足要求。傳統的金屬超薄游星輪夾具由于剛度不夠，在使用過程中容易出現較大的翹曲、變形等現象，導致工件滑出破碎等問題，同時，由于金屬材料表面的耐磨損性較差，使用過程中游星輪夾具的磨損進一步降低的游星輪的剛度和強度，這將嚴重影響游星輪夾具的使用壽命，增加了生產成本。

實用新型內容

本實用新型的目的提供一種新型超薄涂層游星輪夾具，不僅提供了游星輪夾具的剛度和強度，還減小游星輪夾具的變形風險，提高游星輪夾具的使用壽命。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種新型超薄涂層游星輪夾具，所述游星輪夾具的上表面及下表面均設置有涂層，所述游星輪夾具沿周向設置有多個鋸齒；所述游星輪夾具上開設有若干個裝載孔，用于放置超薄工件；所述工件的厚度大于所述游星輪夾具的厚度。

在一較佳的實施例中，所述裝載孔的形狀與所述工件形狀相同。

在一較佳的實施例中，所述游星輪夾具厚度范圍為50μm至500μm。

在一較佳的實施例中，所述涂層的厚度范圍為1μm至20μm。

在一較佳的實施例中，所述涂層具體由高硬度耐磨材料制成。

在一較佳的實施例中，所述游星輪夾具具體為金屬游星輪夾具。

在一較佳的實施例中，所述涂層具體為金剛石涂層。

相較于現有技術，本實用新型的技術方案具備以下有益效果：

本實用新型提供了一種新型超薄涂層游星輪夾具，通過采用高硬度耐磨材料，使得在加工超薄工件時，游星輪夾具的表面強度和耐磨性以及使用壽命提高。對于雙面加工超薄工件，可在保持原有的生產效率的基礎上，規避因夾具過薄帶來的加工風險，且對于雙面加工設備的發展和應用具有重要意義。

本實用新型采用的高硬度耐磨材料為金剛石涂層，其具有高硬度，高耐磨性和化學穩定性，因此，在傳統金屬游星輪夾具表面沉積一層金剛石涂層，不僅可以提供游星輪夾具的剛度和強度，減小夾具的變形，同時也可提供其表面的耐磨性，提高游星輪夾具的使用壽命。可廣泛用于超薄零件的雙面研磨和拋光加工中。

附圖說明

圖1為本實用新型優選實施例中游星輪夾具的整體結構示意圖；

圖2為本實用新型優選實施例中游星輪夾具的截面圖。

具體實施方式