[實用新型]可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏及單晶爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920935815.7
• 申請日: 2019-06-20
• 公開（公告）號: CN210151239U
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發(fā)明（設計）人: 吳學軍
• 申請（專利權）人: 寧夏旭櫻新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B15/00
• 代理公司: 寧夏合天律師事務所 64103
• 代理人: 孫彥虎

1.一種可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏，其特征在于：包括內(nèi)筒、外筒、環(huán)形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板組、進水管、出水管、連接桿、固定環(huán)體，所述內(nèi)筒、外筒均為上大下小的錐形筒，所述內(nèi)筒同心套裝在外筒內(nèi)，所述環(huán)形底設于內(nèi)筒、外筒的下端部，所述環(huán)形底的內(nèi)環(huán)壁與內(nèi)筒的外環(huán)壁密封連接，所述環(huán)形底的外環(huán)壁與外筒的內(nèi)環(huán)壁密封連接，外筒的頂部向內(nèi)翻折形成內(nèi)緣，所述內(nèi)緣的端面與內(nèi)筒的上端部外環(huán)壁密封連接，所述內(nèi)筒、外筒和環(huán)形底形成環(huán)形內(nèi)腔，所述第一隔板、第二隔板的形狀與環(huán)形內(nèi)腔的縱截面形狀向匹配，所述第一隔板、第二隔板豎直設置在環(huán)形內(nèi)腔內(nèi)，所述第一隔板、第二隔板相互平行，所述第一隔板的上端與內(nèi)緣接觸，所述第一隔板的下端與環(huán)形底不接觸，所述第二隔板的上端與內(nèi)緣接觸，所述第二隔板的下端與環(huán)形底接觸，所述隔板組設置于內(nèi)緣與環(huán)形底之間，相鄰兩個隔板組相互平行設置，每一個隔板組包括上隔板、下隔板，所述上隔板、下隔板均為與內(nèi)筒的外環(huán)壁形狀相匹配的弧形，所述上隔板的內(nèi)側壁與內(nèi)筒的外環(huán)壁密封連接，所述上隔板的外側壁與外筒的內(nèi)環(huán)壁密封連接，所述下隔板的內(nèi)側壁與內(nèi)筒的外環(huán)壁密封連接，所述下隔板的外側壁與外筒的內(nèi)環(huán)壁密封連接，所述上隔板、下隔板相對平行設置，上隔板的一端與第二隔板接觸，上隔板的另一端與第二隔板不接觸，下隔板的一端與第一隔板接觸，下隔板的另一端與第二隔板不接觸，在第一隔板、第二隔板之間的內(nèi)筒的環(huán)壁上設有第一冷卻液出口，所述第一冷卻液出口所在第一隔板、第二隔板之間不設置隔板組，所述第一冷卻液出口靠近外筒體內(nèi)緣設置，在第一隔板、第二隔板之間的內(nèi)筒的環(huán)壁上設有第一冷卻液入口，第一冷卻液入口所在第一隔板、第二隔板之間設置隔板組，所述第一冷卻液入口位于外筒體內(nèi)緣和靠近外筒體內(nèi)緣的上隔板之間，所述第一冷卻液入口還靠近第二隔板設置，所述連接桿為多個，多個連接桿沿內(nèi)筒周向布置，所述連接桿的一端與內(nèi)筒內(nèi)環(huán)壁的上部固定連接，所述連接桿的另一端與固定環(huán)體的內(nèi)環(huán)壁固定連接，所述固定環(huán)體具有環(huán)形空腔，在環(huán)形空腔內(nèi)設有第三隔板、第四隔板，以將環(huán)形空腔分為第一流道、第二流道，在固定環(huán)體的外環(huán)壁設有第三冷卻液入口、第三冷卻液出口，所述第三冷卻液出口與第一流道連通，所述第三冷卻液入口與第二流道連通，所述第三冷卻液入口靠近第四隔板設置，在固定環(huán)體的內(nèi)環(huán)壁設有第二冷卻液出口、第二冷卻液入口，所述第二冷卻液出口與第一流道連通，所述第二冷卻液入口與第二流道連通，所述第二冷卻液入口靠近第三隔板設置，所述出水管的一端與第一冷卻液出口連接，所述出水管的另一端與第二冷卻液出口連接，所述進水管的一端與第一冷卻液入口連接，所述進水管的另一端與第二冷卻液入口連接。

2.如權利要求1所述的可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏，其特征在于：所述可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏還包括進水接頭、出水接頭、蓄水池、傳感器，所述進水接頭一端與第三冷卻液入口連接，所述進水接頭的另一端通過管線與蓄水池連接，所述出水接頭一端與第三冷卻液出口連接，所述出水接頭的另一端通過管線與蓄水池連接，在出水接頭與蓄水池之間的管線上安裝有傳感器。

3.如權利要求2所述的可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏，其特征在于：所述傳感器為渦街流量傳感器。

4.如權利要求2所述的可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏，其特征在于：所述可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏包括第一控制部件，所述第一控制部件包括第一微處理器、第一報警燈，所述傳感器與第一微處理器連接，所述第一微處理器與第一報警燈連接。

5.如權利要求2所述的可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏，其特征在于：所述可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏包括第二控制部件，所述第二控制部件包括第二微處理器、第一繼電器、蜂鳴器、第二報警燈、第二繼電器、電源，所述傳感器與第二微處理器連接，所述第二微處理器與第一繼電器連接，所述第一繼電器與蜂鳴器連接，所述第一繼電器與第二報警燈連接，所述第二微處理器與第二繼電器連接，所述第二繼電器與蜂鳴器連接，所述第二繼電器與第二報警燈連接，所述電源分別與第二微處理器、第一繼電器、第二繼電器、蜂鳴器連接。

6.如權利要求5所述的可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏，其特征在于：所述第二報警燈內(nèi)設置有紅色燈、黃色燈、綠色燈。