[實(shí)用新型]一種用于電鍍設(shè)備的電鍍?nèi)芤狠斎胙b置和相應(yīng)電鍍設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920928322.0
• 申請日: 2019-06-19
• 公開（公告）號: CN210215608U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦杰;王金崗;薛超;林宗賢
• 申請（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: C25D21/14
• 分類號: C25D21/14;C25D17/00;C25D7/12
• 代理公司: 上海智晟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31313
• 代理人: 李鏑的

本實(shí)用新型涉及一種用于電鍍設(shè)備的電鍍?nèi)芤狠斎胙b置，其特征在于，包括：電鍍?nèi)芤哼M(jìn)口，其被配置為輸入電鍍?nèi)芤海坏谝浑婂內(nèi)芤汗艿溃渑c電鍍?nèi)芤哼M(jìn)口連通以用于引導(dǎo)電鍍?nèi)芤海灰约暗谝唤M多個(gè)電鍍?nèi)芤狠斎肟冢渑c第一電鍍?nèi)芤汗艿肋B通以用于將電鍍?nèi)芤簭牡谝浑婂內(nèi)芤汗艿垒斎氲诫婂冊O(shè)備中，其中所述第一組多個(gè)電鍍?nèi)芤狠斎肟诒欢ㄏ驗(yàn)槭沟盟敵龅碾婂內(nèi)芤阂缘谝环较蜣D(zhuǎn)動。通過本實(shí)用新型，可以在電鍍過程中提高電鍍?nèi)芤褐械母鹘M分的均勻性，從而提高電鍍質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型總體而言涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體而言，涉及一種用于電鍍設(shè)備的電鍍?nèi)芤狠斎胙b置。此外，本實(shí)用新型還涉及一種使用該電鍍?nèi)芤狠斎胙b置的電鍍設(shè)備。

背景技術(shù)

如今，半導(dǎo)體器件已深入到現(xiàn)代生活的方方面面。而諸如計(jì)算機(jī)、移動電話之類的大多數(shù)電子產(chǎn)品的核心部件、如處理器、存儲器等都含有半導(dǎo)體器件。半導(dǎo)體器件已在現(xiàn)代信息化設(shè)備中扮演至關(guān)重要的角色。

半導(dǎo)體制造的一個(gè)重要工藝是電鍍，其作用是利用電解原理在目標(biāo)表面上鍍上一層其它金屬或合金，例如利用電鍍給通孔鍍上銅金屬。電鍍的原理是，在陽極處的金屬(如Cu)因失去電子而以金屬陽離子(如Cu²⁺)形式進(jìn)入溶液，而在通過離子交換作用到達(dá)陰極處的金屬陽離子(如Cu²⁺)因獲得電子而以單質(zhì)金屬(如Cu)形式沉積在目標(biāo)表面上。現(xiàn)有電鍍設(shè)備的一個(gè)缺點(diǎn)在于，電鍍?nèi)芤褐械南鄳?yīng)組分(如添加劑)容易隨著電鍍過程的進(jìn)行而變得濃度不均勻，從而可能導(dǎo)致電鍍層粗糙、厚度不均勻，甚至導(dǎo)致燒焦。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的任務(wù)是，提供一種用于電鍍設(shè)備的電鍍?nèi)芤狠斎胙b置和相應(yīng)電鍍設(shè)備，通過該電鍍?nèi)芤狠斎胙b置和/或該電鍍設(shè)備，可以在電鍍過程中提高電鍍?nèi)芤褐械母鹘M分的均勻性，從而提高電鍍質(zhì)量。

在本實(shí)用新型的第一方面，該任務(wù)通過一種用于電鍍設(shè)備的電鍍?nèi)芤狠斎胙b置來解決，該裝置包括：

電鍍?nèi)芤哼M(jìn)口，其被配置為輸入電鍍?nèi)芤海?/p>

第一電鍍?nèi)芤汗艿溃渑c電鍍?nèi)芤哼M(jìn)口連通以用于引導(dǎo)電鍍?nèi)芤海灰约?/p>

第一組多個(gè)電鍍?nèi)芤狠斎肟冢渑c第一電鍍?nèi)芤汗艿肋B通以用于將電鍍?nèi)芤簭牡谝浑婂內(nèi)芤汗艿垒斎氲诫婂冊O(shè)備中，其中所述第一組多個(gè)電鍍?nèi)芤狠斎肟诒欢ㄏ驗(yàn)槭沟盟敵龅碾婂內(nèi)芤阂缘谝环较蜣D(zhuǎn)動。

在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選方案中規(guī)定，該裝置還包括：

第二電鍍?nèi)芤汗艿溃渑c電鍍?nèi)芤哼M(jìn)口連通以用于引導(dǎo)電鍍?nèi)芤海灰约?/p>

第二組多個(gè)電鍍?nèi)芤狠斎肟冢渑c第二電鍍?nèi)芤汗艿肋B通以用于將電鍍?nèi)芤簭牡诙婂內(nèi)芤汗艿垒斎氲诫婂冊O(shè)備中，其中所述第二組多個(gè)電鍍?nèi)芤狠斎肟诒欢ㄏ驗(yàn)槭沟盟敵龅碾婂內(nèi)芤阂耘c第一方向相反的第二方向轉(zhuǎn)動。

通過設(shè)置攪拌方向相反的兩組電鍍?nèi)芤狠斎肟冢梢赃M(jìn)一步提高電鍍?nèi)芤旱木鶆蛐裕瑥亩M(jìn)一步提高電鍍質(zhì)量。

在本實(shí)用新型的一個(gè)擴(kuò)展方案中規(guī)定，第一方向?yàn)轫槙r(shí)針方向，并且第二方向?yàn)槟鏁r(shí)針方向；或者

第二方向?yàn)轫槙r(shí)針方向，并且第一方向?yàn)槟鏁r(shí)針方向。

在本實(shí)用新型的另一擴(kuò)展方案中規(guī)定，所述電鍍?nèi)芤狠斎肟跒閲娮臁Ｔ诖藨?yīng)當(dāng)指出，在本實(shí)用新型的教導(dǎo)下，其它形式的電鍍?nèi)芤狠斎肟谝彩强稍O(shè)想的，例如噴射孔、輸出管口等等。

在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選方案中規(guī)定，所述電鍍?nèi)芤哼M(jìn)口包括四個(gè)電鍍?nèi)芤哼M(jìn)口，它們依次間隔90°布置。通過設(shè)置多個(gè)電鍍?nèi)芤哼M(jìn)口可以提高溶液輸入速度并且改善攪拌效果。在本實(shí)用新型的教導(dǎo)下，也可以以其它方式設(shè)置電鍍?nèi)芤哼M(jìn)口、例如設(shè)置6個(gè)依次間隔60°的電鍍?nèi)芤哼M(jìn)口等等。

在本實(shí)用新型的另一優(yōu)選方案中規(guī)定，第一電鍍?nèi)芤汗艿篮?或第二電鍍?nèi)芤汗艿罏榄h(huán)形，其中：