[實(shí)用新型]一種用于激光直寫曝光機(jī)真空發(fā)生器的保護(hù)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920927660.2
• 申請(qǐng)日: 2019-06-20
• 公開（公告）號(hào): CN209962092U
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏云飛;卞顯珊;衛(wèi)國
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;H05K7/20;H02H3/08;H02H3/253
• 代理公司: 34115 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 奚華保

本實(shí)用新型涉及一種用于激光直寫曝光機(jī)真空發(fā)生器的保護(hù)裝置，包括熱繼電保護(hù)器、溫度控制器、真空發(fā)生器、散熱風(fēng)扇和隔熱金屬罩。熱繼電保護(hù)器包括熱繼電器和交流接觸器。溫度控制器包括溫度采集端口T、溫度探頭Pt100、供電接口L和N、輸出控制管腳一和輸出控制管腳二。真空發(fā)生器包括供電接口一、供電接口二、供電接口三和保護(hù)端口PE。散熱風(fēng)扇包括供電管腳L和N。隔熱金屬罩罩設(shè)在真空發(fā)生器的外側(cè)，散熱風(fēng)扇安裝在隔熱金屬罩的頂部，溫度探頭Pt100位于隔熱金屬罩內(nèi)。本實(shí)用新型能有效保護(hù)真空發(fā)生器，防止因過流、缺相、高溫導(dǎo)致的損壞，提高激光直寫曝光機(jī)的穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及激光直寫曝光技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于激光直寫曝光機(jī)真空發(fā)生器的保護(hù)裝置。

背景技術(shù)

在PCB曝光工藝過程中，需要用到真空發(fā)生器，真空發(fā)生器一般都是24H工作的。很多廠區(qū)的供電是不穩(wěn)定的，例如過壓、缺相等，這些會(huì)給真空發(fā)生器造成不可逆的損壞。潔凈車間對(duì)環(huán)境溫度要求很高，一般產(chǎn)生熱量較大的部件都會(huì)采用隔熱金屬罩密封，并將熱量導(dǎo)出車間。隔熱金屬罩內(nèi)部溫度也必須有所管控，否則由于溫度過高導(dǎo)致真空發(fā)生器損壞。真空發(fā)生器損壞后，激光直寫曝光機(jī)將無法進(jìn)行生產(chǎn)，整條生產(chǎn)線都將停止，會(huì)給工廠帶來較大損失。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于激光直寫曝光機(jī)真空發(fā)生器的保護(hù)裝置，該裝置能夠防止真空發(fā)生器因過流、缺相、高溫導(dǎo)致的損壞，提高激光直寫曝光機(jī)的穩(wěn)定性。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案：

一種用于激光直寫曝光機(jī)真空發(fā)生器的保護(hù)裝置，包括熱繼電保護(hù)器、溫度控制器、真空發(fā)生器、散熱風(fēng)扇和隔熱金屬罩。

具體地說，所述熱繼電保護(hù)器包括熱繼電器和交流接觸器。所述熱繼電器和交流接觸器均包括接線端口L1、L2、L3、T1、T2和T3。所述熱繼電器還包括常開端口NO3和NO4以及常閉端口NC3和NC4。所述交流接觸器還包括常開端口NO1和NO2，常閉端口NC1和NC2以及控制端口A1和A2。所述熱繼電器的接線端口L1和交流接觸器的接線端口T1相連。所述熱繼電器的接線端口L2和交流接觸器的接線端口T2相連。所述熱繼電器的接線端口L3和交流接觸器的接線端口T3相連。

所述溫度控制器包括溫度采集端口T、溫度探頭Pt100、供電接口L和N、輸出控制管腳一和輸出控制管腳二。所述真空發(fā)生器包括供電接口一、供電接口二、供電接口三和保護(hù)端口PE。所述散熱風(fēng)扇包括供電管腳L和供電管腳N。所述隔熱金屬罩罩設(shè)在真空發(fā)生器的外側(cè)，所述散熱風(fēng)扇安裝在隔熱金屬罩的頂部，所述溫度探頭Pt100嵌入設(shè)置在隔熱金屬罩內(nèi)。

所述熱繼電器，其接線端口T1接火線L3，其接線端口T2接火線L2，其接線端口T3接火線L1，其接線端口T3接熱繼電器的常閉端口NC3，其常閉端口NC4接交流接觸器的控制端口A2。所述交流接觸器，其接線端口L1與真空發(fā)生器的供電接口三相連，其接線端口L2與真空發(fā)生器的供電接口二相連，其接線端口L3與真空發(fā)生器的供電接口一相連，其控制端口A1與零線N相連。所述真空發(fā)生器的保護(hù)端口PE接地。所述溫度控制器，其供電接口N與零線N相連，其供電接口L與火線L1相連，其溫度采集端口T與溫度探頭Pt100相連，其輸出控制管腳一與散熱風(fēng)扇的供電管腳N相連，其輸出控制管腳二與散熱風(fēng)扇的供電管腳L相連。

進(jìn)一步的，所述隔熱金屬罩上開設(shè)有風(fēng)扇安裝口，所述散熱風(fēng)扇安裝在風(fēng)扇安裝口上，散熱風(fēng)扇的一端位于隔熱金屬罩的外側(cè)，另一端位于隔熱金屬罩的內(nèi)側(cè)。

進(jìn)一步的，所述熱繼電器的型號(hào)為LRD14C。

進(jìn)一步的，所述交流接觸器的型號(hào)為LC1D32M7C。

進(jìn)一步的，所述溫度控制器的型號(hào)為MC8809S4。

由以上技術(shù)方案可知，本實(shí)用新型能夠有效保護(hù)真空發(fā)生器，防止因過流、缺相、高溫導(dǎo)致的損壞，提高激光直寫曝光機(jī)的穩(wěn)定性。