[實(shí)用新型]一種循環(huán)式掃描曝光機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920922491.3
• 申請(qǐng)日: 2019-06-19
• 公開（公告）號(hào): CN210005856U
• 公開（公告）日: 2020-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡志國;張米好;江俊龍;農(nóng)遠(yuǎn)峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳凱世光研股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 44218 深圳市千納專利代理有限公司
• 代理人: 劉洋

本實(shí)用新型涉及光學(xué)設(shè)備領(lǐng)域，解決現(xiàn)有工件曝光設(shè)備曝光效率低的問題。本申請(qǐng)公開了一種循環(huán)式掃描曝光機(jī)，包括有底座，設(shè)置在底座上的曝光臺(tái)，以及曝光裝置，曝光臺(tái)上分別設(shè)有兩組用于工件供料的左供料機(jī)構(gòu)和右供料機(jī)構(gòu)，曝光裝置支架上設(shè)有驅(qū)動(dòng)一排以上的曝光裝置移動(dòng)的曝光裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；底座上設(shè)有驅(qū)動(dòng)曝光裝置支架垂直曝光裝置支架移動(dòng)的曝光裝置支架驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。左供料機(jī)構(gòu)和右供料機(jī)構(gòu)可以同時(shí)把工件托起準(zhǔn)備曝光，當(dāng)左邊的工件曝光完畢，曝光裝置移動(dòng)到右邊的工件直接進(jìn)行曝光，同時(shí)左邊的供料機(jī)構(gòu)把曝光的工件傳送出料，再把左邊支撐柱組件上未曝光的工件傳送托起準(zhǔn)備曝光，依次循環(huán)；傳感器用于檢測工件是否彎曲，從而剔除不合格的工件；從而曝光效率高，不需要有上料等待時(shí)間。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光學(xué)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種循環(huán)式掃描曝光機(jī)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的曝光掃描方式通常是將工件放到曝光臺(tái)上后，作曝光動(dòng)作，交換工件方式必須等前一工件移開后,另工件才能移入。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)的工件曝光設(shè)備曝光效率低的問題。

為解決本實(shí)用新型所提出的技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為：本實(shí)用新型的循環(huán)式掃描曝光機(jī)包括有底座，設(shè)置在底座上的曝光臺(tái)，以及用于工件曝光的曝光裝置，所述的曝光臺(tái)上分別設(shè)有兩組用于工件供料的左供料機(jī)構(gòu)和右供料機(jī)構(gòu)，左供料機(jī)構(gòu)和右供料機(jī)構(gòu)把曝光臺(tái)分成左曝光區(qū)和右曝光區(qū)，所述的左供料機(jī)構(gòu)和右供料機(jī)構(gòu)均包括有用于支撐放置工件的由多個(gè)相互平行設(shè)置的倒U形支撐柱組成的支撐柱組件，以及用于把支撐柱組件上的工件托起傳送的傳送板，傳送板上設(shè)有與支撐柱組件配合的頂柱組件，底座上設(shè)有驅(qū)動(dòng)頂柱組件上下移動(dòng)以及沿進(jìn)出料方向移動(dòng)的傳送驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述的底座上設(shè)有橫跨曝光臺(tái)的曝光裝置支架，一排以上所述的曝光裝置滑動(dòng)設(shè)于曝光裝置支架上，曝光裝置支架上設(shè)有驅(qū)動(dòng)一排以上的曝光裝置沿曝光裝置支架移動(dòng)的曝光裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述的底座上設(shè)有驅(qū)動(dòng)曝光裝置支架垂直曝光裝置支架移動(dòng)的曝光裝置支架驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步限定的技術(shù)方案包括：

所述的左供料機(jī)構(gòu)和右供料機(jī)構(gòu)上均設(shè)有用于檢測工件彎曲的傳感器。

所述的傳感器設(shè)置在頂柱組件上，對(duì)應(yīng)工件的四角下方均設(shè)有一個(gè)傳感器。

所述的傳感器設(shè)置在支撐柱組件上，對(duì)應(yīng)工件的四角側(cè)面均設(shè)有一個(gè)傳感器。

所述的頂柱組件上設(shè)有用于把工件吸附在頂柱組件上的吸風(fēng)口。

所述的傳送驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括有驅(qū)動(dòng)頂柱組件上下移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)氣缸和驅(qū)動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)氣缸沿進(jìn)出料方向移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)氣缸，所述的頂柱組件與第一驅(qū)動(dòng)氣缸的活塞桿固定連接。

所述曝光裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為曝光裝置直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

所述曝光裝置支架驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為曝光裝置支架直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

通過上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果為：本實(shí)用新型的循環(huán)式掃描曝光機(jī)的左供料機(jī)構(gòu)和右供料機(jī)構(gòu)可以同時(shí)把工件托起準(zhǔn)備曝光，當(dāng)左邊的工件曝光完畢，曝光裝置移動(dòng)到右邊的工件直接進(jìn)行曝光，同時(shí)左邊的供料機(jī)構(gòu)把曝光的工件傳送出料，再把左邊支撐柱組件上未曝光的工件傳送托起準(zhǔn)備曝光，依次循環(huán)；傳感器用于檢測工件是否彎曲，從而剔除不合格的工件；從而曝光效率高，不需要有上料等待時(shí)間。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一種循環(huán)式掃描曝光機(jī)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型一種循環(huán)式掃描曝光機(jī)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型一種循環(huán)式掃描曝光機(jī)的傳感器位于工件四角下方時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實(shí)用新型一種循環(huán)式掃描曝光機(jī)的傳感器位于工件四角側(cè)面時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。