[實用新型]用于晶圓劃片的雙光路激光加工裝置有效
| 申請號： | 201920921581.0 | 申請日： | 2019-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN210281096U | 公開（公告）日： | 2020-04-10 |
| 發明（設計）人： | 邵西河;盧巍 | 申請（專利權）人： | 浙江圣石激光科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/362 | 分類號： | B23K26/362;B23K26/06;B23K26/067;B23K26/70 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 劃片 雙光路 激光 加工 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于晶圓劃片的雙光路激光加工裝置，其特征在于：包括激光器以及雙光路組件，所述雙光路組件包括光閘A、光閘B以及擴束鏡，偏光分光鏡，二分之一波長板；所述激光器產生的激光經過光閘A、光閘B分別形成光路A、光路B；光路A通過多個光路A反射鏡反射后進入擴束鏡，擴束鏡對光束進行同軸擴束后再經過一個光路A反射鏡后進入偏光分光鏡；光路B通過多個光路B反射鏡反射后到達二分之一波長板，由二分之一波長板調整后再經過一個光路B反射鏡后進入偏光分光鏡；所述偏光分光鏡射出的激光聚焦待加工的晶圓上。
2.根據權利要求1所述雙光路激光加工裝置，其特征在于：所述光閘A與擴束鏡間設有3個光路A反射鏡，在光路A經過每個光路A反射鏡時，該光路A反射鏡將光束偏轉90度；同樣，擴束鏡與偏光分光鏡之間的光路A反射鏡也是將光束偏轉90度。
3.根據權利要求1所述雙光路激光加工裝置，其特征在于：所述光閘B與二分之一波長板間設有2個光路B反射鏡，在光路B經過每個光路B反射鏡時，該光路B反射鏡將光束偏轉90度；同樣，二分之一波長板與偏光分光鏡之間的光路B反射鏡也是將光束偏轉90度。
4.根據權利要求1所述雙光路激光加工裝置，其特征在于：待加工的晶圓置于加工臺上，所述加工臺為石英載臺。
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