[實(shí)用新型]一種真空蒸發(fā)源加熱組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920917047.2
• 申請(qǐng)日: 2019-06-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210560695U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王燕東;王文沖;遲力峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州馳鳴納米技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24
• 代理公司: 宿遷市永泰睿博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32264
• 代理人: 陳棟

一種真空蒸發(fā)源加熱組件，包括加熱絲、導(dǎo)線和絕緣殼體，其特征在于：所述加熱絲繞成螺旋狀，并密封在絕緣殼體內(nèi)，所述導(dǎo)線置于絕緣殼體外，所述絕緣殼體上設(shè)有用于固定加熱絲和導(dǎo)線連接時(shí)預(yù)留的凹槽，所述加熱絲外接溫度控制器來(lái)控制蒸發(fā)源溫度，所述絕緣殼體內(nèi)中間靠近加熱絲處設(shè)有溫度傳感器。本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)在于：可以防止高溫時(shí)發(fā)生形變導(dǎo)致加熱不均勻或者接觸其他部位引起短路，從而讓電熱絲穩(wěn)定連續(xù)加熱。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及電加熱技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空蒸發(fā)源加熱組件。

背景技術(shù)

有機(jī)鍍膜系統(tǒng)是將待成膜的有機(jī)分子置于坩堝中在真空下加熱使其氣化蒸發(fā)，最終在工件或基片表面成核生長(zhǎng)成膜的過(guò)程。在蒸鍍過(guò)程中，傳統(tǒng)的蒸發(fā)源加熱絲在加熱時(shí)容易變形導(dǎo)致加熱不均勻，且蒸發(fā)源加熱絲常暴露在外，容易接觸其他部位，引起短路。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種帶有絕緣殼體、能穩(wěn)定加熱的真空蒸發(fā)源加熱組件。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種真空蒸發(fā)源加熱組件，包括加熱絲、導(dǎo)線和絕緣殼體，所述加熱絲繞成螺旋狀，并密封在絕緣殼體內(nèi)，所述導(dǎo)線置于絕緣殼體外，所述絕緣殼體上設(shè)有用于固定加熱絲和導(dǎo)線連接時(shí)預(yù)留的凹槽，所述絕緣殼體內(nèi)中間靠近加熱絲處設(shè)有溫度傳感器。

進(jìn)一步的，所述絕緣殼體為石英材質(zhì)。

進(jìn)一步的，所述加熱絲為鎢絲、鎢絲合金等高熔點(diǎn)金屬。

進(jìn)一步的，所述加熱絲外接溫度控制器來(lái)控制蒸發(fā)源溫度。

本實(shí)用新型的有益效果是：在傳統(tǒng)的蒸發(fā)源加熱絲外套上了絕緣殼體，加熱絲密封在絕緣殼體內(nèi)，在加熱時(shí)，加熱絲能夠保持現(xiàn)狀，穩(wěn)定均勻加熱，防止高溫時(shí)發(fā)生變形而引起短路。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的局部放大圖；

圖中：1加熱絲、2絕緣殼體、3導(dǎo)線、4溫度傳感器、5溫度控制器、6凹槽。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

如圖1-2所示，一種真空蒸發(fā)源加熱組件，包括加熱絲1、導(dǎo)線3和絕緣殼體2，其中絕緣殼體為石英材質(zhì)，加熱絲為鎢絲、鎢絲合金等高熔點(diǎn)金屬，所述加熱絲1繞成螺旋狀，并密封在絕緣殼體2內(nèi)，所述導(dǎo)線3置于絕緣殼體2外，所述絕緣殼體2上設(shè)有加熱絲1和導(dǎo)線連接時(shí)預(yù)留的凹槽6用于固定加熱絲與導(dǎo)線，所述絕緣殼體2內(nèi)中間靠近加熱絲1處設(shè)有溫度傳感器5，所述加熱絲1外接溫度控制器5來(lái)控制蒸發(fā)源溫度。

以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。