[實(shí)用新型]一種氣源輪換式金剛石膜制備裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920900223.1
• 申請(qǐng)日: 2019-06-16
• 公開（公告）號(hào): CN210065913U
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郝晉青;馬引群;孟康飛;劉佳奇;郭夢(mèng)特;李戎戎;彭澤峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 太原師范學(xué)院
• 主分類號(hào): C23C16/27
• 分類號(hào): C23C16/27;C23C16/50;C23C16/455
• 代理公司: 14112 太原新航路知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)
• 代理人: 王勇

1.一種氣源輪換式金剛石膜制備裝置，其特征在于：包括圓筒形反應(yīng)室（1）、外層水管（2）、圓餅形載臺(tái)（3）、內(nèi)層水管（4）、徑向支撐桿（5）、圓餅形水冷腔（6）、驅(qū)動(dòng)電機(jī)（7）、驅(qū)動(dòng)齒輪（8）、L形支撐桿（9）、導(dǎo)電觸頭（10）、熱絲陣列（11）、下圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（12）、上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（13）、第一導(dǎo)氣管（14）、第二導(dǎo)氣管（15）、第三導(dǎo)氣管（16）、第一下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（17）、第一上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（18）、第二下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（19）、第二上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（20）、第三下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（21）、第三上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（22）、第一放電針（23）、第二放電針（24）、第三放電針（25）、第一接地針（26）、第二接地針（27）、第三接地針（28）、抽氣孔（29）、矩形窗孔（30）、第一至第十一電源；

圓筒形反應(yīng)室（1）的下端和上端均設(shè)有端壁；圓筒形反應(yīng)室（1）的下端壁中央貫通開設(shè)有下裝配孔；圓筒形反應(yīng)室（1）的上端壁中央貫通開設(shè)有上裝配孔；圓筒形反應(yīng)室（1）的側(cè)壁上部貫通開設(shè)有兩個(gè)左右對(duì)稱的側(cè)裝配孔；外層水管（2）的外側(cè)面下端與下裝配孔的孔壁固定配合；圓餅形載臺(tái)（3）為空心結(jié)構(gòu)，且圓餅形載臺(tái)（3）的下端壁中央貫通開設(shè)有出水孔；圓餅形載臺(tái)（3）的下外端面內(nèi)邊緣轉(zhuǎn)動(dòng)支撐于外層水管（2）的上端面，且圓餅形載臺(tái)（3）的下外端面內(nèi)邊緣與外層水管（2）的上端面之間設(shè)有迷宮密封；圓餅形載臺(tái)（3）的下外端面延伸設(shè)置有圓筒形凸臺(tái)，且圓筒形凸臺(tái)的軸線與圓餅形載臺(tái)（3）的軸線重合；圓筒形凸臺(tái)的內(nèi)側(cè)面與外層水管（2）的外側(cè)面之間留有距離；圓筒形凸臺(tái)的外側(cè)面下端設(shè)有驅(qū)動(dòng)外輪齒；內(nèi)層水管（4）穿設(shè)于外層水管（2）的內(nèi)腔，且內(nèi)層水管（4）的軸線與外層水管（2）的軸線重合；內(nèi)層水管（4）的外側(cè)面與外層水管（2）的內(nèi)側(cè)面之間留有出水間隙；內(nèi)層水管（4）的下端面與外層水管（2）的下端面齊平；內(nèi)層水管（4）的上端面超出圓餅形載臺(tái)（3）的下內(nèi)端面；徑向支撐桿（5）的數(shù)目為多根；各根徑向支撐桿（5）的內(nèi)端面均與內(nèi)層水管（4）的外側(cè)面固定；各根徑向支撐桿（5）的外端面均與外層水管（2）的內(nèi)側(cè)面固定；各根徑向支撐桿（5）沿周向等距排列；圓餅形水冷腔（6）位于圓餅形載臺(tái)（3）的內(nèi)腔；圓餅形水冷腔（6）的下外端面與圓餅形載臺(tái)（3）的下內(nèi)端面之間、圓餅形水冷腔（6）的上外端面與圓餅形載臺(tái)（3）的上內(nèi)端面之間、圓餅形水冷腔（6）的外側(cè)面與圓餅形載臺(tái)（3）的內(nèi)側(cè)面之間均留有冷卻間隙；圓餅形水冷腔（6）的下端壁中央貫通開設(shè)有進(jìn)水孔；圓餅形水冷腔（6）的上端壁貫通開設(shè)有多個(gè)噴水孔；圓餅形水冷腔（6）的下外端面內(nèi)邊緣固定支撐于內(nèi)層水管（4）的上端面；驅(qū)動(dòng)電機(jī)（7）安裝于圓筒形反應(yīng)室（1）的下內(nèi)端面，且驅(qū)動(dòng)電機(jī)（7）的輸出軸朝上；驅(qū)動(dòng)齒輪（8）固定裝配于驅(qū)動(dòng)電機(jī)（7）的輸出軸上，且驅(qū)動(dòng)齒輪（8）與驅(qū)動(dòng)外輪齒嚙合；L形支撐桿（9）的水平段垂直固定于圓筒形反應(yīng)室（1）的內(nèi)側(cè)面，且L形支撐桿（9）的豎直段朝下；導(dǎo)電觸頭（10）安裝于L形支撐桿（9）的豎直段下端，且導(dǎo)電觸頭（10）與圓筒形凸臺(tái)的外側(cè)面接觸；熱絲陣列（11）水平安裝于圓筒形反應(yīng)室（1）的內(nèi)腔，且熱絲陣列（11）位于圓餅形載臺(tái)（3）的上方；

下圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（12）的側(cè)面與圓筒形反應(yīng)室（1）的內(nèi)側(cè)面固定配合，且下圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（12）位于熱絲陣列（11）的上方；上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（13）的側(cè)面與圓筒形反應(yīng)室（1）的內(nèi)側(cè)面固定配合，且上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（13）位于下圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（12）的上方；第一導(dǎo)氣管（14）和第三導(dǎo)氣管（16）分別固定貫穿兩個(gè)側(cè)裝配孔，且第一導(dǎo)氣管（14）和第三導(dǎo)氣管（16）均位于上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（13）的上方；第一導(dǎo)氣管（14）和第三導(dǎo)氣管（16）均呈斜向設(shè)置，且第一導(dǎo)氣管（14）和第三導(dǎo)氣管（16）相互對(duì)稱；第一導(dǎo)氣管（14）的下端管口和第三導(dǎo)氣管（16）的下端管口均朝向上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（13）；第二導(dǎo)氣管（15）固定貫穿上裝配孔，且第二導(dǎo)氣管（15）位于上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（13）的上方；第一下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（17）的側(cè)面與第一導(dǎo)氣管（14）的內(nèi)側(cè)面固定配合；第一上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（18）的側(cè)面與第一導(dǎo)氣管（14）的內(nèi)側(cè)面固定配合，且第一上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（18）位于第一下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（17）的左上方；第二下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（19）的側(cè)面與第二導(dǎo)氣管（15）的內(nèi)側(cè)面固定配合；第二上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（20）的側(cè)面與第二導(dǎo)氣管（15）的內(nèi)側(cè)面固定配合，且第二上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（20）位于第二下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（19）的上方；第三下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（21）的側(cè)面與第三導(dǎo)氣管（16）的內(nèi)側(cè)面固定配合；第三上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（22）的側(cè)面與第三導(dǎo)氣管（16）的內(nèi)側(cè)面固定配合，且第三上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（22）位于第三下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（21）的右上方；第一放電針（23）的數(shù)目為多根；各根第一放電針（23）均垂直固定于第一上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（18）的下端面；第二放電針（24）的數(shù)目為多根；各根第二放電針（24）均垂直固定于第二上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（20）的下端面；第三放電針（25）的數(shù)目為多根；各根第三放電針（25）均垂直固定于第三上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（22）的下端面；第一接地針（26）的數(shù)目為兩排；每排第一接地針（26）均包括多根第一接地針（26）；兩排第一接地針（26）相互正對(duì)地垂直固定于第一導(dǎo)氣管（14）的內(nèi)側(cè)面，且兩排第一接地針（26）均位于第一上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（18）的左上方；第二接地針（27）的數(shù)目為兩排；每排第二接地針（27）均包括多根第二接地針（27）；兩排第二接地針（27）相互正對(duì)地垂直固定于第二導(dǎo)氣管（15）的內(nèi)側(cè)面，且兩排第二接地針（27）均位于第二上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（20）的上方；第三接地針（28）的數(shù)目為兩排；每排第三接地針（28）均包括多根第三接地針（28）；兩排第三接地針（28）相互正對(duì)地垂直固定于第三導(dǎo)氣管（16）的內(nèi)側(cè)面，且兩排第三接地針（28）均位于第三上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（22）的右上方；抽氣孔（29）貫通開設(shè)于圓筒形反應(yīng)室（1）的側(cè)壁，且抽氣孔（29）位于圓餅形載臺(tái)（3）的下方；矩形窗孔（30）貫通開設(shè)于圓筒形反應(yīng)室（1）的側(cè)壁；矩形窗孔（30）的上孔壁高于熱絲陣列（11）；矩形窗孔（30）的下孔壁與圓餅形載臺(tái)（3）的上外端面齊平；矩形窗孔（30）上安裝有矩形透明窗門；

第一電源的兩極分別與驅(qū)動(dòng)電機(jī)（7）的兩個(gè)電源端連接；第二電源的兩極分別與熱絲陣列（11）的兩個(gè)電源端連接；第三至第十一電源均為直流電源；第三電源的正極與第一上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（18）連接；第三電源的負(fù)極、第六電源的正極均與第一下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（17）連接；第四電源的正極與第二上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（20）連接；第四電源的負(fù)極、第七電源的正極均與第二下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（19）連接；第五電源的正極與第三上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（22）連接；第五電源的負(fù)極、第八電源的正極均與第三下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（21）連接；第六電源的負(fù)極、第七電源的負(fù)極、第八電源的負(fù)極、第九電源的正極均與上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（13）連接；第九電源的負(fù)極、第十電源的正極均與下圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（12）連接；第十電源的負(fù)極、第十一電源的正極均與熱絲陣列（11）的其中一個(gè)電源端連接；第十一電源的負(fù)極與導(dǎo)電觸頭（10）連接；兩排第一接地針（26）均接地；兩排第二接地針（27）均接地；兩排第三接地針（28）均接地。