[實用新型]一種用于EBSD的預傾斜樣品臺裝置

有效

• 申請號: 201920898230.2
• 申請日: 2019-06-14
• 公開（公告）號: CN211348012U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 崔桂彬;鞠新華;王澤陽;楊瑞
• 申請（專利權）人: 首鋼集團有限公司
• 主分類號: G01N23/20025
• 分類號: G01N23/20025
• 代理公司: 北京華誼知識產權代理有限公司 11207
• 代理人: 王普玉

一種用于EBSD的預傾斜樣品臺裝置，屬于實驗室EBSD分析技術領域。裝置包括樣品臺、表面樣品、截面樣品和樣品座；樣品臺為T字型臺，T字型臺橫梁為四棱柱，橫梁長度尺寸為60～80mm，橫梁上頂面為20°的斜面，橫梁正前方斜面為70°，與上頂面成直角；T字型臺橫梁中心垂直位置有一豎梁，樣品臺的豎梁與樣品座相連接；樣品臺的橫梁上頂面上有截面樣品；樣品臺橫梁正前方斜面上有表面樣品。優點在于，一次性可以放置多個用于EBSD分析的表面或截面樣品，實用性強。

技術領域

本實用新型屬于實驗室EBSD分析技術領域，特別涉及一種用于EBSD的預傾斜樣品臺裝置。

背景技術

隨著電子背散射衍射技術(EBSD)不斷發展，在材料領域的微觀取向分析方面得到了廣泛的應用。目前，做EBSD分析用的樣品臺裝置是一個具有70°斜面的樣品臺，該樣品臺為銅制材料，較軟，易破損，且樣品不容易固定，易漂移，尤其是斜面面積太小，僅有10mm大小，每次只能安裝一個樣品進行EBSD分析，若要繼續分析下一個樣品，需要將樣品重新取下再次安裝新的樣品，大大增加了實驗周期，整個操作流程過于頻繁，不利于樣品的快速高效分析。

本實用新型提供了一種可以在EBSD分析時一次性放置多個樣品的樣品臺裝置，為材料領域進行EBSD分析時提高分析效率提供了較好的解決方案。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種用于EBSD的預傾斜樣品臺裝置，解決了在做EBSD分析時無法放置多個樣品的問題。

一種用于EBSD的預傾斜樣品臺裝置，包括樣品臺1、表面樣品2、截面樣品3和樣品座4。樣品臺1為T字型臺，T字型臺橫梁為四棱柱，橫梁長度尺寸為60～80mm，橫梁厚度尺寸為7～10mm，橫梁上頂面為20°的斜面，橫梁正前方斜面為70°，與上頂面成直角；T字型臺橫梁中心垂直位置有一豎梁，豎梁為長方體，豎梁長度與橫梁寬度之和尺寸為40～45mm，豎梁寬度尺寸為7～10mm，豎梁厚度與橫梁厚度一致；樣品臺1的豎梁與樣品座4相連接；樣品臺1的橫梁上頂面上有截面樣品3；樣品臺1橫梁正前方斜面上有表面樣品2。

樣品臺1和樣品座4的材質為不銹鋼；

表面樣品2和截面樣品3的樣品尺寸長和寬均為5～20mm，厚度≤5mm。

該裝置的工作原理為：將分析表面樣品2用導電膠帶粘在樣品臺1的橫梁70°斜面上或將分析截面樣品3用導電膠帶粘在樣品臺1的橫梁20°斜面上，一次性可以放置多個樣品，然后將樣品臺1固定在樣品座4上，放入掃描電鏡內進行EBSD分析；觀察完畢取樣時，直接將分析樣品從樣品臺1上取下，放入干燥柜保存。

本實用新型的優點在于：一次性可以放置多個樣品，且可以放置用于EBSD分析的表面或截面樣品，操作簡便，快捷，實用性強。

附圖說明

圖1為樣品臺裝置的三維組合示意圖。其中，樣品臺1、表面樣品2、截面樣品3、樣品座4。

圖2為樣品臺裝置的二維正視圖。

圖3為樣品臺裝置的二維俯視圖。

圖4為樣品臺裝置的二維左視圖。

具體實施方式

圖1-圖4為本實用新型的一種具體實施方式。

一種用于EBSD的預傾斜樣品臺裝置，包括樣品臺1、表面樣品2、截面樣品3和樣品座4。樣品臺1為T字型臺，T字型臺橫梁為四棱柱，橫梁長度尺寸為60mm，橫梁厚度尺寸為7mm，橫梁上頂面為20°的斜面，橫梁正前方斜面為70°，與上頂面成直角；T字型臺橫梁中心垂直位置有一豎梁，豎梁為長方體，豎梁長度與橫梁寬度之和尺寸為40mm，豎梁寬度尺寸為10mm，豎梁厚度與橫梁厚度一致；樣品臺1的豎梁與樣品座4相連接；樣品臺1的橫梁上頂面上有截面樣品3；樣品臺1的橫梁正前方斜面上有表面樣品2。