[實(shí)用新型]一種晶體加工用預(yù)熱設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920883311.5
• 申請日: 2019-06-13
• 公開（公告）號: CN210529110U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何猛
• 申請（專利權(quán)）人: 徐州瑞朗高科石英有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;F24H3/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶體加工用預(yù)熱設(shè)備，包括預(yù)熱設(shè)備本體（1），其特征在于，所述預(yù)熱設(shè)備本體（1）由若干個(gè)預(yù)熱組件外殼（2）組成，若干個(gè)所述預(yù)熱組件外殼（2）的兩端分別固定設(shè)置有卡環(huán)（4）和卡勾（3），且所述卡環(huán)（4）與相鄰卡勾（3）卡合連接，若干個(gè)所述預(yù)熱組件外殼（2）之間通過卡環(huán)（4）和卡勾（3）拼接，若干個(gè)所述預(yù)熱組件外殼（2）的兩側(cè)分別固定設(shè)置有進(jìn)氣接頭（5）和出氣接頭（11），若干個(gè)所述預(yù)熱組件外殼（2）的內(nèi)部均開設(shè)有環(huán)形通道（8），所述環(huán)形通道（8）的內(nèi)圈卡合連接有旋轉(zhuǎn)環(huán)（10），所述旋轉(zhuǎn)環(huán)（10）的內(nèi)圈穿過預(yù)熱組件外殼（2）的內(nèi)圈與三個(gè)旋轉(zhuǎn)導(dǎo)熱扇片（6）的一端固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體加工用預(yù)熱設(shè)備，其特征在于：所述預(yù)熱組件外殼（2）與旋轉(zhuǎn)環(huán)（10）兩端的連接處均開設(shè)有環(huán)形限位槽，所述旋轉(zhuǎn)環(huán)（10）的兩端均開設(shè)有限位環(huán)（9），所述環(huán)形限位槽與限位環(huán)（9）卡和連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶體加工用預(yù)熱設(shè)備，其特征在于：所述進(jìn)氣接頭（5）的另一端和出氣接頭（11）的另一端均固定連接有通氣管道。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體加工用預(yù)熱設(shè)備，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)導(dǎo)熱扇片（6）的表面固定設(shè)置有若干個(gè)金屬散熱芯（7）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體加工用預(yù)熱設(shè)備，其特征在于：所述環(huán)形通道（8）的兩端分別與進(jìn)氣接頭（5）的一端和出氣接頭（11）的一端連通。