[實用新型]一種晶圓參數(shù)測量儀機器人手臂結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920880783.5
• 申請日: 2019-06-12
• 公開（公告）號: CN210282347U
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發(fā)明（設計）人: 梅華斌;劉文慶;邵暉
• 申請（專利權）人: 無錫職業(yè)技術學院
• 主分類號: B25J15/06
• 分類號: B25J15/06;B25J18/00;B65G47/91
• 代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 馮智文

本實用新型公開了一種晶圓參數(shù)測量儀機器人手臂結構，括安裝座和安裝板，所述安裝座一側安裝有安裝板，所述安裝板一側活動安裝有一號轉(zhuǎn)盤，所述一號轉(zhuǎn)盤一側固定安裝有一號活動軸，所述一號活動軸內(nèi)腔一端活動安裝有一號連接臂，所述一號連接臂內(nèi)腔一端安裝有液壓缸。本實用新型通過真空吸盤的的設置采用真空吸附晶圓片，這樣使其避免傳統(tǒng)機械手夾取會對晶圓片造成損傷，降低損失和成本，比較適合晶圓片較薄脆的物件進行夾取，二號轉(zhuǎn)盤和多組吸取頭的設置使其可以在一號電機的帶動作用下進行轉(zhuǎn)動使其調(diào)換不同的吸取頭的位置，以便放置在測量裝置上，這樣一次性吸取多個物件進行輪換取放材料，提高工作效率。

技術領域

本實用新型涉及一種機器人手臂結構，特別涉及一種晶圓參數(shù)測量儀機器人手臂結構。

背景技術

機械臂是高精度，高速機器手。對應小批量生產(chǎn)方式，提高生產(chǎn)效率。除點膠作業(yè)之外，可對應uv照射，零件放置，螺絲鎖定，電路板切割等各種工作。

但是在現(xiàn)有的晶圓生產(chǎn)過程當中需要對晶圓片通過機器人進行測量，測量需要對晶圓片進行夾取但是傳統(tǒng)的通過夾爪夾取的方式進行夾取，由于晶圓比較薄比較脆，所以夾取型的機械手容易導致晶圓片損壞，這樣提高損壞率提高了成本，而且傳統(tǒng)的只能一次性夾取一個，這樣長期進行來回夾取運送降低了工作效率。為此，我們提出一種晶圓參數(shù)測量儀機器人手臂結構。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的主要目的在于提供一種晶圓參數(shù)測量儀機器人手臂結構，通過真空吸盤的的設置采用真空吸附晶圓片，這樣使其避免傳統(tǒng)機械手夾取會對晶圓片造成損傷，降低損失和成本，比較適合晶圓片較薄脆的物件進行夾取，二號轉(zhuǎn)盤和多組吸取頭的設置使其可以在一號電機的帶動作用下進行轉(zhuǎn)動使其調(diào)換不同的吸取頭的位置，以便放置在測量裝置上，這樣一次性吸取多個物件進行輪換取放材料，提高工作效率，可以有效解決背景技術中的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取的技術方案為：

一種晶圓參數(shù)測量儀機器人手臂結構，包括安裝座和安裝板，所述安裝座一側安裝有安裝板，所述安裝板一側活動安裝有一號轉(zhuǎn)盤，所述一號轉(zhuǎn)盤一側固定安裝有一號活動軸，所述一號活動軸內(nèi)腔一端活動安裝有一號連接臂，所述一號連接臂內(nèi)腔一端安裝有液壓缸，所述液壓缸一端安裝有伸縮桿，所述伸縮桿一端固定連接有二號活動軸，所述二號活動軸一端安裝有二號連接臂，所述二號連接臂底端安裝有二號轉(zhuǎn)盤，所述二號轉(zhuǎn)盤底部表面安裝有吸取頭，且吸取頭設有多組，所述吸取頭底部表面安裝有真空吸盤，所述二號活動軸一側安裝有真空泵。

進一步地，所述真空泵一端連接有氣管，且氣管另一端與真空吸盤連接，所述氣管一側安裝有排氣閥。

進一步地，所述一號活動軸和二號活動軸一端內(nèi)腔均活動安裝有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸一端安裝有二號電機。

進一步地，所述一號轉(zhuǎn)盤和二號轉(zhuǎn)盤一側均安裝有一號電機。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型具有如下有益效果：

當二號電機轉(zhuǎn)動的時候可以帶動轉(zhuǎn)軸使一號連接臂和二號連接臂轉(zhuǎn)動，這樣方便了整個機械壁分段進行上下調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)，而且一號轉(zhuǎn)盤的設置，使其整個機械臂在安裝座上進行左右旋轉(zhuǎn)，以便機械臂調(diào)節(jié)位置；液壓缸的設置使機械臂可以伸縮調(diào)節(jié)長度。

二號連接臂的底部安裝有二號轉(zhuǎn)盤，二號轉(zhuǎn)盤的底部表面安裝有多組的吸取頭，吸取頭的底部表面安裝有真空吸盤通過氣管與真空泵連接，這樣當真空吸盤貼附到晶圓片的時候，真空泵抽取掉真空吸盤內(nèi)腔的空氣，使真空吸盤將晶圓片吸附住，需要放開的時候排氣閥打開將使其真空吸盤放開工件，真空吸盤的的設置采用真空吸附晶圓片，這樣使其避免傳統(tǒng)機械手夾取會對晶圓片造成損傷，降低損失和成本，比較適合晶圓片較薄脆的物件進行夾取。

二號轉(zhuǎn)盤和多組吸取頭的設置使其可以在一號電機的帶動作用下進行轉(zhuǎn)動使其調(diào)換不同的吸取頭的位置，以便放置在測量裝置上，這樣一次性吸取多個物件進行輪換取放材料，提高工作效率。