[實用新型]自動清理水槽中粉塵顆粒的尾氣處理設備

有效

• 申請號: 201920878205.8
• 申請日: 2019-06-12
• 公開（公告）號: CN210206272U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 薛波;李文強;曾圣翔;郭松輝;林宗賢
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: B01D47/02
• 分類號: B01D47/02;C02F9/02
• 代理公司: 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31313
• 代理人: 張東梅

本實用新型公開了一種自動清理水槽中粉塵顆粒的尾氣處理設備，包括：水槽，帶有粉塵顆粒的水在水槽中；水泵，所述水泵與所述水槽的排水口相連；以及水旋器，所述水旋器與所述水泵的另一端相連，所述水泵將水槽中帶有粉塵顆粒的水排入水旋器的入口，水旋器還具有溢流口和排沙口，所述溢流口排出的水中粉塵顆粒尺寸小于特定值，所述排沙口排出粉塵顆粒稠化的水。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造設備領域，更具體而言，本實用新型涉及自動清理水槽中粉塵顆粒的尾氣處理設備。

背景技術

當前行業內普遍使用的尾氣處理設備(Scrubber)主要包括三種：干式、濕式和組合式，干式尾氣處理設備中采用活性炭等媒介吸附的方法進行吸收或者燃燒方式除去廢氣，而濕式的尾氣處理設備中采用用水吸收或者酸堿液吸收，而組合式一般設計為燃燒水洗或者電熱水洗。一般腔室在進行反應時會產生大量粉塵，經真空泵吸后流向尾氣處理設備中，在水洗時會留在尾氣處理設備的水槽中。

圖1示出現有的尾氣處理設備100的示意圖。如圖1所示，工藝氣體進入尾氣處理設備100后發生燃燒反應或其他類型的反應，產生大量粉塵顆粒。尾氣處理設備100采用的是重力沉降法沉積粉塵顆粒，大量的粉塵顆粒沉積在水槽110中。水槽110中的水通過循環管道，對氣體進行水洗，以清除氣體中的粉塵顆粒。這種方法的缺點是需要定期清理水槽110中的粉塵顆粒，造成設備的關機，減少設備的有效工作時間，同時尾氣處理設備重新啟動時會出現點火失敗等一系列原因。

實用新型內容

針對現有技術中存在的上述問題，根據本實用新型的一個方面，提供一種自動清理水槽中粉塵顆粒的尾氣處理設備，其特征在于，包括：

水槽，帶有粉塵顆粒的水在水槽中；

水泵，所述水泵與所述水槽的排水口相連；以及

水旋器，所述水旋器與所述水泵的另一端相連，所述水泵將水槽中帶有粉塵顆粒的水排入水旋器的入口，水旋器還具有溢流口和排沙口，所述溢流口排出的水中粉塵顆粒尺寸小于特定值，所述排沙口排出粉塵顆粒稠化的水。

在本實用新型的一個實施例中，該自動清理水槽中粉塵顆粒的尾氣處理設備還包括再處理設備，所述再處理設備的入口接收粉塵顆粒稠化的水，所述再處理設備采用擠壓法，對水旋器的排沙口排出的水進行擠壓處理，剩下的殘渣直接更換即可。

在本實用新型的一個實施例中，自動清理水槽中粉塵顆粒的尾氣處理設備還包括反應室、水洗室和循環水管道，所述反應室、水洗室和水槽成U型并彼此連通，水槽在反應室和水洗室的下方，待處理氣體通過反應室入口進入反應室，并在反應室內發生反應，產生粉塵顆粒，一部分粉塵顆粒沉降到水槽中的水中，一部分粉塵顆粒在水洗室中被噴灑的水帶入水槽中，隨后氣體從水洗室出口排出；所述溢流口排出的水以及再處理設備擠出的水進入循環水管道，并從水洗室中噴灑出來。

在本實用新型的一個實施例中，所述再處理設備包括擠壓盤和過濾膜，擠壓盤對水旋器的排出的水進行擠壓處理，使得一部分水通過過濾膜被擠出進入循環水管道。

在本實用新型的一個實施例中，所述溢流口排出的水中粉塵顆粒尺寸為1-5微米。

在本實用新型的一個實施例中，所述水槽為多個水槽。

在本實用新型的一個實施例中，所述水旋器包括中位于上部的中空的圓筒、位于下部的與圓筒相通的倒椎體、從圓筒側面進入的入口、圓筒頂部的溢流口和倒椎體底部的排沙口。

附圖說明

為了進一步闡明本實用新型的各實施例的以上和其它優點和特征，將參考附圖來呈現本實用新型的各實施例的更具體的描述。可以理解，這些附圖只描繪本實用新型的典型實施例，因此將不被認為是對其范圍的限制。在附圖中，為了清楚明了，相同或相應的部件將用相同或類似的標記表示。

圖1示出現有的尾氣處理設備100的示意圖。