[實(shí)用新型]一種用于12寸設(shè)備的8寸開放式花籃底座裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920873020.8
• 申請(qǐng)日: 2019-06-12
• 公開（公告）號(hào): CN210323765U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱倩倩;江董玉;宋佳娜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫職業(yè)技術(shù)學(xué)院
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32228
• 代理人: 馮智文

本實(shí)用新型涉及機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種用于12寸設(shè)備的8寸開放式花籃底座裝置，包括底座，所述底座上端開設(shè)有放置槽，且放置槽的上方平行設(shè)有吸附板，所述吸附板內(nèi)設(shè)有空腔，且吸附板位于放置槽的表面安裝有吸盤，所述吸盤與空腔連通，所述吸附板的上端平行設(shè)有移動(dòng)板，所述移動(dòng)板和吸附板之間通過電動(dòng)伸縮桿連接。本實(shí)用新型通過在底座上方設(shè)置吸附板，并將吸附板可伸縮的安裝在移動(dòng)板上，同時(shí)利用制動(dòng)盒內(nèi)的電機(jī)和絲桿控制移動(dòng)板的左右移動(dòng)，使用過程中，采用吸附板將硅片吸附后移動(dòng)到底座的放置槽內(nèi)，該種方式改變了傳統(tǒng)再用手工將硅片r放入花籃內(nèi)帶來的效率低下問題，一次可放入多組，提高工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于12寸設(shè)備的8寸開放式花籃底座裝置。

背景技術(shù)

在集成電路芯片的生產(chǎn)過程中，芯片的設(shè)計(jì)圖形在硅片表面光刻膠上的曝光轉(zhuǎn)印(光刻)是其中最重要的工序之一，該工序所用的設(shè)備稱為光刻機(jī)(曝光機(jī))。光刻機(jī)是集成電路加工過程中最關(guān)鍵的設(shè)備。

而光刻機(jī)對(duì)硅片進(jìn)行表面光刻時(shí)，需要將硅片從放入到花籃底座內(nèi)，現(xiàn)有的一般采用人工手工放入，該種方式造成效率低下，且人工支出的費(fèi)用大，提高了成本支出，因此，針對(duì)上述問題提出一種用于12寸設(shè)備的8寸開放式花籃底座裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于12寸設(shè)備的8寸開放式花籃底座裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種用于12寸設(shè)備的8寸開放式花籃底座裝置，包括底座，所述底座上端開設(shè)有放置槽，且放置槽的上方平行設(shè)有吸附板，所述吸附板內(nèi)設(shè)有空腔，且吸附板位于放置槽的表面安裝有吸盤，所述吸盤與空腔連通，所述吸附板的上端平行設(shè)有移動(dòng)板，所述移動(dòng)板和吸附板之間通過電動(dòng)伸縮桿連接，且吸附板的中間位置設(shè)有伸縮軟管，所述移動(dòng)板的一側(cè)焊接有支撐桿，所述支撐桿連接在制動(dòng)盒，以及制動(dòng)盒安裝在底座側(cè)邊。

進(jìn)一步地，所述支撐桿并排設(shè)有兩組，且支撐桿與移動(dòng)板垂直設(shè)置。

進(jìn)一步地，所述支撐桿之間設(shè)有抽風(fēng)機(jī)，所述抽風(fēng)機(jī)的輸出端連接管道，所述管道的另一端貫穿移動(dòng)板。

進(jìn)一步地，所述管道與伸縮軟管連通。

進(jìn)一步地，所述制動(dòng)盒內(nèi)設(shè)有移動(dòng)腔，以及移動(dòng)腔內(nèi)的一端安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸連接絲桿，且絲桿上螺紋連接有螺紋環(huán)，所述制動(dòng)盒的上端面開設(shè)有連通移動(dòng)腔的開口滑動(dòng)槽，所述支撐桿穿過與螺紋環(huán)焊接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益效果：

1、本實(shí)用新型通過在底座上方設(shè)置吸附板，并將吸附板可伸縮的安裝在移動(dòng)板上，同時(shí)利用制動(dòng)盒內(nèi)的電機(jī)和絲桿控制移動(dòng)板的左右移動(dòng)，使用過程中，采用吸附板將硅片吸附后移動(dòng)到底座的放置槽內(nèi)，該種方式改變了傳統(tǒng)再用手工將硅片r放入12英寸的花籃內(nèi)帶來的效率低下問題，一次可放入多組，提高工作效率。

2、本實(shí)用新型通過在吸附板上述設(shè)置多組吸盤，并將吸附板連接吸盤的空腔與抽風(fēng)機(jī)連接，使用時(shí)，將吸盤與硅片接觸，然后在抽風(fēng)機(jī)的作用下，將吸盤與硅片之間的空氣抽走，兩者之間產(chǎn)生吸附力，從而硅片吸起移動(dòng)，該種方式不易損壞硅片的表面。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一種用于12寸設(shè)備的8寸開放式花籃底座裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型一種用于12寸設(shè)備的8寸開放式花籃底座裝置的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型一種用于12寸設(shè)備的8寸開放式花籃底座裝置的吸附板結(jié)構(gòu)示意圖。