[實用新型]石英圓板/法蘭加工裝置

有效

• 申請號: 201920855246.5
• 申請日: 2019-06-09
• 公開（公告）號: CN210030410U
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發明（設計）人: 周文華;藍呈;楊中進;姚祿輝
• 申請（專利權）人: 上海強華實業股份有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00;C03B29/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種石英圓板/法蘭加工裝置，包括工作轉臺，能夠被控制進行旋轉，工作轉臺的臺面上放置石墨模具和石英圓板/法蘭；紅外線溫度控制器，以控制火焰溫度；流量表控制氫氧氣的流量，以保證火焰的穩定性；自動點火裝置；機器人手臂，在該機器人手臂端部設有火焰槍卡爪，所述火焰槍卡爪用于抓設火焰槍，火焰槍用于對工作轉臺上的石英圓板/法蘭火焰拋光處理。

技術領域

本實用新型屬于半導體制造技術領域，特別涉及一種石英圓板/法蘭加工裝置。

背景技術

在石英圓板或法蘭加工時，現有加工工藝是由人工用氫氧氣火焰對石英圓板或法蘭表面做火焰拋光處理，以達到內外表面光潔度要求。由于采用人工處理，此工藝在不同人員操作下會存在火焰和操作手法上的差異，而導致產品質量的不穩定。

實用新型內容

本實用新型提供了一種石英圓板/法蘭加工裝置，目的在于解決石英圓板/法蘭加工質量不受控的問題。

本實用新型實施例之一，一種石英圓板/法蘭加工裝置，包括

工作轉臺，能夠被控制進行旋轉，工作轉臺的臺面上放置墨模具和石英圓板/法蘭；

紅外線溫度控制器，用于控制火焰溫度；

流量表控制氫氧氣的流量，以保證火焰的穩定性；

自動點火裝置，用于對火焰槍進行點火；

機器人手臂，在該機器人手臂端部設有火焰槍卡爪，所述火焰槍卡爪用于抓設火焰槍，火焰槍用于對工作轉臺上的石英圓板/法蘭火焰拋光處理。

本實用新型采用自動機械手臂的卡爪抓住火焰槍，將石英圓板或石英法蘭放置在石墨模具上，裝夾在工作轉臺上并做旋轉運動。火焰槍自動點火后，自動機械手臂可以在一定角度的控制范圍內調整火焰槍的角度并在流量表的控制下保證火焰的穩定性，開啟自動工作轉臺旋轉。火焰槍在紅外線溫度的控制下對石英圓板或石英法蘭內、外表面做火焰拋光處理，實現了對石英圓板或石英法蘭拋光處理的自動控制。

本實用新型的技術方案，可以根據半導體晶圓制程中對顆粒的嚴格管控，通過火焰的大小影響表面顆粒度；通過控制火焰溫度的高低影響形變量，通常人工平面度在0.3以上，而本實用新型裝置的平面度能控制在0.15以內；現有的工藝存在操作人員的勞動負荷大、操作人員工作環境溫度較高、加工效率相對較低等弊端，如果人工操作需要30min完成，而本實用新型裝置完成時間僅為10min。

附圖說明

通過參考附圖閱讀下文的詳細描述，本實用新型示例性實施方式的上述以及其他目的、特征和優點將變得易于理解。在附圖中，以示例性而非限制性的方式示出了本實用新型的若干實施方式，其中：

圖1根據本實用新型實施例之一的石英圓板/法蘭加工裝置示意圖。

1——工作轉臺，2——第一卡爪，3———石墨模具，4——石英圓板/環，5——自動點火裝置，6——火焰槍卡爪，7——流量控制表，8——紅外線測溫儀，9——機器人手臂。

具體實施方式

根據一個或者多個實施例，如圖1所示，一種石英圓板/法蘭加工裝置，包括工作轉臺、機器人手臂、石墨模具、自動點火裝置、流量控制表和紅外線測溫儀。工作轉臺能夠被電腦控制進行旋轉，工作轉臺的臺面上放置石墨模具和石英圓板/法蘭，石墨模具上放置石英圓板/法蘭，石墨模具主要用于保證石英圓板/法蘭的平面度。在機器人手臂端部設有火焰槍卡爪，火焰槍卡爪用于抓設火焰槍。自動點火裝置用于對火焰槍進行自動點火控制，流量控制表用于檢測控制火焰槍燃氣的流量，紅外測溫儀用于檢測火焰溫度。在流量控制表和紅外測溫儀的控制下，火焰槍對工作轉臺上的石英圓板/法蘭火焰拋光處理。石英圓板/法蘭被用第一卡爪固定在工作轉臺的臺面上，同時第一卡爪也被用來移動搬運所述的石英圓板/法蘭。