[實用新型]一種用于研磨裝置的研磨頭

有效

• 申請號: 201920854144.1
• 申請日: 2019-06-07
• 公開（公告）號: CN210081444U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 宋錦渲;謝光萍;鄧鵬;李翔宇;朱蘭;劉申;李敏;羅杰偉;胡瑤
• 申請（專利權）人: 川北醫學院;宋錦渲
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B47/22;B24B45/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型屬于機械研磨領域，尤其涉及一種用于研磨裝置的研磨頭，包括研磨機主體、研磨座和底座，研磨機主體的底部設置有研磨座，研磨座的底部設置有底座，底座頂面靠近正面和背面邊緣處均焊接有限位塊，限位塊的中心處轉動連接有螺桿，螺桿的外表壁對稱套設有兩個套筒，套筒的頂部均鉸接有連接桿，連接桿的頂部焊接有滑塊。本實用新型中，通過轉動底座的轉把來帶動連接桿運動，進而帶動研磨座運動，以此來調整研磨座的位置，進而來調整研磨座和研磨頭之間的間距，來使得該研磨裝置可以適用與不同大小的物品，可以進一步的提升該裝置的適用性。

技術領域

本實用新型屬于機械研磨技術領域，具體是涉及一種用于研磨裝置的研磨頭。

背景技術

機械研磨裝置是一種為了實現全面平坦化與由用于形成電路的接觸/布線膜分離以及高度集成的元件化而產生的晶元表面粗糙度的改善等而使用于對晶元的表面進行精細研磨加工的裝置，所述全面平坦化是清除在半導體元件制造過程中反復進行掩蔽、刻蝕及布線工藝等的同時生成的晶元表面的凹凸而導致的單元區域與周圍電路區域間的高度差。

但是，由于現有的研磨頭在長時間的使用下會發生一定程度的磨損，如果不對研磨頭進行更換的話，會使得研磨出來的物品有所瑕疵，降低工作效率，進而影響產品的質量，同時現有的研磨頭和研磨座之間的距離是固定的，使得該研磨裝置只能研磨相同大小的物品，不能對其他大小的物品進行研磨，該研磨頭不適用與現在對研磨頭多功能的要求。

發明內容

本實用新型主要是解決上述現有技術所存在的技術問題，提供一種用于研磨裝置的研磨頭。

本實用新型的上述技術問題主要是通過下述技術方案得以解決的：一種用于研磨裝置的研磨頭，包括研磨機主體、研磨座和底座，所述研磨機主體的底部設置有研磨座，所述研磨座的底部設置有底座，所述底座頂面靠近正面和背面邊緣處均焊接有限位塊，所述限位塊的中心處轉動連接有螺桿，所述螺桿的外表壁對稱套設有兩個套筒，所述套筒的頂部均鉸接有連接桿，所述連接桿的頂部焊接有滑塊。

作為優選，所述研磨座底面四個拐角處均焊接有伸縮桿，所述伸縮桿的底部與底座相焊接，所述伸縮桿的外表壁套設有第一復位彈簧。

作為優選，所述底座頂面靠近一側邊緣的中心處焊接有擋塊，所述擋塊的中心處轉動連接有蝸桿，所述蝸桿靠近底座邊緣處焊接有轉把，所述蝸桿與轉把相背端外表壁嚙合連接有圓形齒輪，所述圓形齒輪的中心處焊接有橫桿，所述橫桿的兩端均貫穿限位塊焊接有圓錐齒輪，所述圓錐齒輪的外表壁嚙合連接有渦旋齒輪。

作為優選，所述研磨機主體底部貫穿有研磨桿，所述研磨桿的中心處焊接有研磨頭。

作為優選，所述研磨機主體底部靠近研磨桿的一側焊接有夾持箱體，所述夾持箱體正面和背面中心處均滑動嵌設有支桿，所述支桿靠近夾持箱體內壁的一端焊接有夾持塊，所述夾持塊與支桿相背端焊接有防滑墊，所述支桿的外表壁套設有第二復位彈簧。

作為優選，所述支桿靠近夾持箱體外表壁的一端貫穿有撐桿，所述撐桿的外表壁焊接有橢圓轉盤，所述橢圓轉盤與夾持箱體相背端焊接有拉環，所述橢圓轉盤的外表壁嚙合連接有鋸齒板。

本實用新型具有的有益效果：首先，通過轉動底座的轉把來帶動連接桿運動，進而帶動研磨座運動，以此來調整研磨座的位置，進而來調整研磨座和研磨頭之間的間距，來使得該研磨裝置可以適用與不同大小的物品，可以進一步的提升該裝置的適用性，同時通過轉動轉盤來使得夾持塊運動，直至夾持塊內壁的防滑墊與研磨桿相脫離，再對研磨頭進行更換即可，該操作方式更加的簡便，可以確保研磨頭的完整性，進一步的可以確保研磨出來的產品的質量，可以進一步的提高工作效率。

附圖說明

圖1是本實用新型的一種用于研磨裝置的研磨頭的正視結構示意圖；

圖2是本實用新型的一種用于研磨裝置的研磨頭的側視結構示意圖；