[實用新型]全口徑拋光浸沒式元件加工裝置及拋光機

有效

• 申請號: 201920853732.3
• 申請日: 2019-06-06
• 公開（公告）號: CN210232505U
• 公開（公告）日: 2020-04-03
• 發明（設計）人: 廖德鋒;謝瑞清;王乙任;趙世杰;張飛虎;王健;許喬
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: B24B13/00
• 分類號: B24B13/00;B24B13/005;B24B13/01;B24B57/02;B24B55/02;B24B1/00
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 曹鵬飛

1.全口徑拋光浸沒式元件加工裝置，其特征在于，包括：

工件盤(100)，所述工件盤(100)中部限定出一個浸沒室(110)，所述浸沒室(110)用于浸沒加工中的元件(200)；

及拋光液輸送泵(300)，所述拋光液輸送泵(300)出液端通過拋光液輸送管(310)連接至所述浸沒室(110)上方噴射拋光液；其進液端與拋光液儲液桶(400)連接。

2.根據權利要求1所述的全口徑拋光浸沒式元件加工裝置，其特征在于，所述拋光液輸送管(310)上設置有流量調節開關(311)。

3.根據權利要求1所述的全口徑拋光浸沒式元件加工裝置，其特征在于，所述浸沒室(110)中安裝有工作框(111)和背板(112)；所述工作框(111)和所述背板(112)中部均限定有加工孔；其中所述工作框(111)外部形狀與所述浸沒室(110)內部形狀適配，所述背板(112)固定于所述工作框(111)上。

4.根據權利要求3所述的全口徑拋光浸沒式元件加工裝置，其特征在于，還包括通過多個豎直上板和多個水平下板構成截面為L形的擋框(113)，所述擋框(113)對應固定于所述背板(112)的加工孔處，多個所述水平下板構成的空間夾持元件。

5.根據權利要求4所述的全口徑拋光浸沒式元件加工裝置，其特征在于，所述豎直上板的頂端面高于安裝后的元件頂部大于40mm。

6.根據權利要求3所述的全口徑拋光浸沒式元件加工裝置，其特征在于，所述背板(112)頂部設置有操作把手(114)。

7.根據權利要求3-6任一項所述的全口徑拋光浸沒式元件加工裝置，其特征在于，所述工作框(111)底部工作面平面度小于5μm。

8.一種拋光機，其特征在于，包括如權利要求1-7任一項所述的全口徑拋光浸沒式元件加工裝置，所述工件盤(100)外圓周上設置有與拋光機驅動齒輪(500)嚙合的同步帶。

9.根據權利要求8所述的一種拋光機，其特征在于，拋光盤外壁下方設置有拋光液收集槽(600)，所述拋光液收集槽(600)位于所述拋光液儲液桶(400)上部；所述拋光液輸送泵(300)的回液端連接至所述拋光液收集槽(600)內。