[實用新型]夾持機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920852779.8
• 申請日: 2019-06-06
• 公開（公告）號: CN210418333U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭嘉瑞;尹祖金;董佳弛;李志聰;萬春;李澤民;胡金
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市聯(lián)得自動化裝備股份有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 陳秀麗;吳平

本實用新型涉及一種夾持機(jī)構(gòu)，包括：安裝座、夾持組件及緩沖組件，所述夾持組件用于夾持料片，所述緩沖組件設(shè)于所述安裝座和所述夾持組件之間，所述緩沖組件包括固定塊、滑動塊及彈性件，所述滑動塊與所述固定塊滑動連接，所述彈性件設(shè)于所述固定塊和所述滑動塊之間，所述固定塊與所述安裝座固定連接，所述夾持組件設(shè)于所述滑動塊。上述夾持機(jī)構(gòu)，各元件結(jié)構(gòu)緊湊，整體體積較小。當(dāng)夾持機(jī)構(gòu)夾持料片在運(yùn)動過程中與其他機(jī)構(gòu)發(fā)生碰撞時，設(shè)于固定塊和滑動塊之間的彈性件發(fā)生彈性變形，能夠起到緩沖作用，避免夾持組件以及料片被損壞。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種夾持機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

晶圓，也稱wafer,是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。晶圓由純硅(Si)構(gòu)成，一般分為6英寸、8英寸、12英寸規(guī)格不等，晶片就是基于這個晶圓上切割生產(chǎn)出來的。晶圓上一個個被整齊切割的小塊，就是一個晶圓芯片，學(xué)名die。晶圓芯片通常先放在藍(lán)膜上，再將藍(lán)膜放在晶圓芯片環(huán)(wafer ring)上,在半導(dǎo)體生產(chǎn)測試的制程中，晶圓芯片環(huán)的夾取成為半導(dǎo)體設(shè)備中一種很常見的機(jī)構(gòu)。現(xiàn)有用于夾持晶圓芯片環(huán)的夾具構(gòu)造復(fù)雜，占用空間大。

實用新型內(nèi)容

基于此，有必要針對現(xiàn)有晶圓芯片環(huán)夾具構(gòu)造復(fù)雜且體積較大的問題，提供一種夾持機(jī)構(gòu)。

一種夾持機(jī)構(gòu)，包括：安裝座、夾持組件及緩沖組件，所述夾持組件用于夾持料片，所述緩沖組件設(shè)于所述安裝座和所述夾持組件之間，所述緩沖組件包括固定塊、滑動塊及彈性件，所述滑動塊與所述固定塊滑動連接，所述彈性件設(shè)于所述固定塊和所述滑動塊之間，所述固定塊與所述安裝座固定連接，所述夾持組件設(shè)于所述滑動塊。

上述夾持機(jī)構(gòu)，各元件結(jié)構(gòu)緊湊，整體體積較小。當(dāng)夾持機(jī)構(gòu)夾持料片在運(yùn)動過程中與其他機(jī)構(gòu)發(fā)生碰撞時，設(shè)于固定塊和滑動塊之間的彈性件發(fā)生彈性變形，能夠起到緩沖作用，避免夾持組件以及料片被損壞。

在其中一個實施例中，所述夾持機(jī)構(gòu)還包括傳感器和警報模塊，所述傳感器設(shè)于所述安裝座上，并用于檢測所述滑動塊的位置，所述警報模塊與所述傳感器通訊連接。

在其中一個實施例中，所述滑動塊上設(shè)有感應(yīng)片，所述感應(yīng)片能夠觸發(fā)所述傳感器。

在其中一個實施例中，所述固定塊開設(shè)有配合孔，所述滑動塊包括主體和設(shè)于所述主體的導(dǎo)向柱，所述導(dǎo)向柱穿設(shè)于所述配合孔。

在其中一個實施例中，所述夾持組件包括第一夾持塊、第二夾持塊及動力元件，所述第一夾持塊連接于所述動力元件的輸出端，所述動力元件和所述第二夾持塊均設(shè)于所述滑動塊上，所述動力元件能夠帶動所述第一夾持塊靠近或遠(yuǎn)離所述第二夾持塊。

在其中一個實施例中，所述滑動塊上設(shè)有導(dǎo)向部，所述第一夾持塊設(shè)有滑槽，所述導(dǎo)向部能夠沿所述滑槽滑動。

在其中一個實施例中，所述夾持組件還包括壓縮彈性件，所述壓縮彈性件設(shè)于所述第一夾持塊和所述滑動塊之間。

在其中一個實施例中，所述夾持機(jī)構(gòu)還包括接近開關(guān)，所述接近開關(guān)設(shè)于所述第一夾持塊上，所述第一夾持塊開設(shè)有槽口，所述接近開關(guān)由所述槽口露出。

在其中一個實施例中，所述第二夾持塊開設(shè)有用于容納所述接近開關(guān)的避讓口。

在其中一個實施例中，所述固定塊遠(yuǎn)離所述滑動塊的表面開設(shè)有定位槽，所述安裝座容納于所述定位槽內(nèi)。

附圖說明

圖1為一實施例中夾持機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1所示夾持機(jī)構(gòu)夾持料片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖1所示夾持機(jī)構(gòu)與搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的裝配圖；

圖4為圖1所示夾持機(jī)構(gòu)夾持料片發(fā)生過沖的示意圖；