[實用新型]單晶生長設備

有效

• 申請號: 201920852497.8
• 申請日: 2019-06-06
• 公開（公告）號: CN210420254U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 廖鳳英
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: C30B23/00
• 分類號: C30B23/00;C30B29/36
• 代理公司: 北京思創畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

1.一種單晶生長設備，其特征在于，包括反應腔室(106)、上蓋(110)、上開蓋組件(111)、下蓋(113)和下開蓋組件(114)，所述上蓋(110)和下蓋(113)分別可開閉地設于所述反應腔室(106)的頂部和底部，分別用于密封所述反應腔室(106)的頂部開口和底部開口，所述上開蓋組件(111)與所述上蓋(110)連接，用于開閉所述上蓋(110)，所述下開蓋組件(114)與所述下蓋(113)連接，用于開閉所述下蓋(113)。

2.根據權利要求1所述的單晶生長設備，其特征在于，所述上開蓋組件(111)包括上蓋絲杠導軌組件支撐件(224)、上蓋升降電機(214)、上蓋絲杠導軌組件(215)、上蓋升降支撐件；

所述上蓋絲杠導軌組件支撐件(224)將所述上蓋絲杠導軌組件(215)固定在機架上，所述上蓋絲杠導軌組件(215)沿豎直方向設置；

所述上蓋升降支撐件包括上蓋絲杠螺母轉接件(217)、一對上蓋升降支撐板(218，221)，所述上蓋絲杠螺母轉接件(217)連接于上蓋絲杠導軌組件(215)，所述一對上蓋升降支撐板(218，221)相對于所述上蓋(110)的中心軸對稱設置，且每個所述上蓋升降支撐板(218，221)的一端均連接于所述上蓋絲杠螺母轉接件(217)，另一端均連接于所述上蓋(110)；

所述上蓋升降電機(214)設置在所述上蓋絲杠導軌組件(215)的頂端，用于驅動所述上蓋絲杠導軌組件(215)帶動所述上蓋升降支撐件升降，進而帶動所述上蓋(110)升降。

3.根據權利要求2所述的單晶生長設備，其特征在于，每個所述上蓋升降支撐板(218，221)遠離所述上蓋絲杠導軌組件(215)的一端的下部均設有安裝槽，所述上開蓋組件(111)還包括一對上蓋升降調節板(219)，所述一對上蓋升降調節板(219)分別嵌入一個所述上蓋升降支撐板(218，221)的安裝槽內，且連接于所述安裝槽的頂面，每個所述上蓋升降調節板(219)均通過預緊連接組件連接于所述上蓋(110)的上表面。

4.根據權利要求3所述的單晶生長設備，其特征在于，所述預緊連接組件包括預緊調節螺柱(204)、預緊螺母(203)和預緊彈簧(202)，所述上蓋升降調節板(219)和所述上蓋(110)通過所述預緊調節螺柱(204)和所述預緊螺母(203)進行連接，所述預緊彈簧(202)設于所述上蓋升降調節板(219)和所述上蓋(110)之間，套設于所述預緊調節螺柱(204)。

5.根據權利要求2所述的單晶生長設備，其特征在于，所述上開蓋組件(111)還包括上蓋升降底座(223)、提拉桿升降電機(212)、提拉桿絲杠導軌組件支撐件(213)、提拉桿絲杠導軌組件(209)、提拉桿絲杠導軌轉接件(211)、提拉桿固定架(210)、提拉桿(208)、密封波紋管(205)；

所述上蓋升降底座(223)為板狀，水平連接于所述一對上蓋升降支撐板(218，221)之間，所述提拉桿絲杠導軌組件支撐件(213)沿豎直方向連接于所述上蓋升降底座(223)上，所述提拉桿絲杠導軌組件(209)沿豎直方向連接于所述提拉桿絲杠導軌組件支撐件(213)，所述提拉桿固定架(210)通過所述提拉桿絲杠導軌轉接件(211)連接于所述提拉桿絲杠導軌組件(209)，所述密封波紋管(205)沿豎直方向設置，其一端連接于所述提拉桿固定架(210)，另一端穿過所述上蓋(110)連接于所述反應腔室(106)內的坩堝，所述密封波紋管(205)與所述上蓋(110)、所述坩堝密封連接，所述提拉桿(208)穿設于所述密封波紋管(205)內，且一端連接于所述提拉桿固定架(210)，另一端連接于所述坩堝；

所述提拉桿升降電機(212)設置在所述提拉桿絲杠導軌組件支撐件上，用于驅動所述提拉桿絲杠導軌組件(209)帶動所述提拉桿固定架(210)升降，從而帶動所述提拉桿(208)升降并帶動所述密封波紋管(205)伸縮，進而帶動所述坩堝升降。