[實用新型]晶圓盒檢測裝置有效
| 申請號： | 201920851989.5 | 申請日： | 2019-06-06 |
| 公開（公告）號： | CN209840949U | 公開（公告）日： | 2019-12-24 |
| 發明（設計）人： | 布蘭登·布雷;中村優;菊池健;李秉隆 | 申請（專利權）人： | 芯恩(青島)集成電路有限公司 |
| 主分類號： | G01B5/30 | 分類號： | G01B5/30 |
| 代理公司： | 31219 上海光華專利事務所(普通合伙) | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 266000 山東省青島市*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶圓盒 限位檢測 本實用新型 檢測 第一表面 檢測裝置 翹曲檢測 翹曲 表面貼合 單一檢測 第二表面 檢測集成 相對設置 變形的 平面的 形變 引入 圓盒 種晶 | ||
1.一種晶圓盒檢測裝置，其特征在于，包括：
具有相對設置的第一表面和第二表面的基座；
與所述晶圓盒上指定的待測結構的表面貼合并用于檢測所述待測結構是否發生變形的多個限位檢測結構；多個所述限位檢測結構對應于多個所述待測結構，并設置于所述第一表面上；
用于檢測所述待測結構中指定的待測平面是否發生翹曲的翹曲檢測結構。
2.根據權利要求1所述的晶圓盒檢測裝置，其特征在于：所述限位檢測結構包括限位樁、限位面或限位槽中的一種或多種的組合。
3.根據權利要求2所述的晶圓盒檢測裝置，其特征在于：所述限位檢測結構包括所述限位樁與所述限位面的組合，所述限位樁設置于所述限位面上。
4.根據權利要求2所述的晶圓盒檢測裝置，其特征在于：所述限位檢測結構包括所述限位槽與所述限位面的組合，所述限位槽設置于所述限位面上。
5.根據權利要求2所述的晶圓盒檢測裝置，其特征在于：所述限位檢測結構包括相互平行設置的一對所述限位槽。
6.根據權利要求1所述的晶圓盒檢測裝置，其特征在于：所述翹曲檢測結構包括與所述待測平面貼合并檢測所述待測平面是否發生翹曲的翹曲檢測塊。
7.根據權利要求6所述的晶圓盒檢測裝置，其特征在于：所述翹曲檢測結構還包括滑塊，所述基座中設有導軌；所述滑塊嵌設于所述導軌中，并沿所述導軌滑動；所述翹曲檢測塊連接所述滑塊，并隨所述滑塊的滑動貼近或遠離所述待測平面。
8.根據權利要求7所述的晶圓盒檢測裝置，其特征在于：所述翹曲檢測結構還包括連接所述滑塊與所述翹曲檢測塊，并使所述滑塊與所述翹曲檢測塊之間的間距可調的連接件。
9.根據權利要求1所述的晶圓盒檢測裝置，其特征在于：所述晶圓盒檢測裝置還包括多個底腳，多個所述底腳設置于所述第二表面上。
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