[實用新型]一種半導體研磨設備及研磨頭夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920840376.1
• 申請日: 2019-06-05
• 公開（公告）號: CN210819067U
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發(fā)明（設計）人: 黃威
• 申請（專利權(quán)）人: 芯恩（青島）集成電路有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/11
• 代理公司: 北京漢之知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11479
• 代理人: 陳敏

1.一種研磨頭夾具，其特征在于，包括：

夾持部件，包括在連接端互相連接的可開合的第一部分和第二部分，在所述連接端的相對端形成開合端，所述夾持部件環(huán)繞并夾持住所述研磨頭，在所述研磨頭夾具鎖緊后將所述研磨頭鎖緊；以及

固定組件，設置在所述夾持部件的開合端，鎖緊并固定所述夾持部件；

其中，所述固定組件包括：

連接桿，在所述開合端連接至所述夾持部件的所述第一部分，并且可以相對所述第一部分轉(zhuǎn)動以開合所述夾持部；以及

鎖緊部，連接至所述連接桿，相對于所述連接桿可調(diào)節(jié)以鎖緊或松開所述夾持部件，所述鎖緊部包括對齊部件，所述夾持部的所述第二部分在開合端具有與所述對齊部件互補的對齊結(jié)構(gòu)，所述對齊部件包括錐形結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨頭夾具，其特征在于，所述對齊結(jié)構(gòu)包括與所述錐形結(jié)構(gòu)互補的倒錐形凹槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨頭夾具，其特征在于，所述連接桿包括螺桿，所述鎖緊部包括與所述螺桿相互配合的設置有內(nèi)螺紋的螺栓。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨頭夾具，其特征在于，所述鎖緊部設置為一體式結(jié)構(gòu)，所述對齊結(jié)構(gòu)設置在所述鎖緊部的第一端部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨頭夾具，其特征在于，所述鎖緊部的第二端部設置為多面體結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨頭夾具，其特征在于，所述鎖緊部設置為分體式結(jié)構(gòu)，所述對齊結(jié)構(gòu)設置為獨立的錐形結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的研磨頭夾具，其特征在于，所述鎖緊部的第一端部和所述對齊結(jié)構(gòu)之間還包括緩沖部件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的研磨頭夾具，其特征在于，所述鎖緊部的第二端部設置為多面體結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨頭夾具，其特征在于，所述固定組件的所述連接桿可轉(zhuǎn)動地與所述第一部分鉸接。

10.一種半導體研磨設備，包括研磨頭，其特征在于，所述研磨設備包括權(quán)利要求1-9中任一項所述的研磨頭夾具。