[實用新型]管路結構有效
| 申請號： | 201920813426.7 | 申請日： | 2019-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN209626190U | 公開（公告）日： | 2019-11-12 |
| 發明（設計）人： | 周至軍;高英哲;張文福;李丹 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 吳敏 |
| 地址： | 223302 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 輸入單元 管路結構 儲存單元 過濾單元 本實用新型 安全使用 化學藥液 傷害 保證 | ||
1.一種管路結構，其特征在于，包括：
輸入單元，包括第一輸入單元和第二輸入單元；
儲存單元，與所述輸入單元連接；
第一通路，連接所述第一輸入單元與所述儲存單元；
過濾單元，位于所述第一通路；
第二通路，連接所述第二輸入單元與所述儲存單元；
調節單元，連接所述第一通路和所述第二通路，位于所述輸入單元與所述過濾單元之間。
2.如權利要求1所述的管路結構，其特征在于，所述調節單元包括三通閥或引流管和控制閥組合。
3.如權利要求2所述的管路結構，其特征在于，所述調節單元為三通閥時，所述第二通路包括第二通路主管和第二通路支管，所述第二通路主管與所述第二通路支管一體成型。
4.如權利要求3所述的管路結構，其特征在于，所述三通閥的任意兩個流道口位于所述第一輸入單元與所述過濾單元之間，所述三通閥的第三流道口與所述第二通路支管連接。
5.如權利要求2所述的管路結構，其特征在于，所述調節單元采用引流管和控制閥組合時，所述引流管的兩端部分別與所述第一通路和所述第二通路連接。
6.如權利要求5所述的管路結構，其特征在于，所述控制閥的數量至少為兩個，所述引流管的兩端部之間至少設置一個所述控制閥，所述引流管與所述第一通路連接的端部和所述第一輸入單元之間至少設置一個所述控制閥。
7.如權利要求1所述的管路結構，其特征在于，所述過濾單元包括袋式過濾器、間歇式加壓過濾機、膜過濾器、管式過濾機中的一種或者多種。
8.如權利要求1所述的管路結構，其特征在于，所述過濾單元與所述第一通路之間采用法蘭連接、卡套連接、螺紋連接、金屬面密封接頭連接中的一種或者多種。
9.如權利要求1所述的管路結構，其特征在于，所述輸入單元包括動力式泵、容積式泵、流動作用泵中的一種或者多種。
10.如權利要求1所述的管路結構，其特征在于，所述儲存單元包括儲液罐或貯水池或儲液槽。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
