[實用新型]晶圓轉角度機

有效

• 申請號: 201920809027.3
• 申請日: 2019-05-31
• 公開（公告）號: CN210092036U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 朱廣金
• 申請（專利權）人: 上海新傲科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/683
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種晶圓轉角度機，其特征在于，包括：

轉動軸；

旋轉電機，連接至所述轉動軸，用于控制所述轉動軸繞所述轉動軸的軸心轉動；

夾具，安裝至所述轉動軸，用于夾持待轉角度的晶圓，使所述晶圓跟隨所述轉動軸繞所述轉動軸的軸心轉動。

2.根據權利要求1所述的晶圓轉角度機，其特征在于，還包括：

時間繼電器，連接至所述旋轉電機，用于控制所述旋轉電機控制所述轉動軸轉動的時長，從而控制所述轉動軸的轉動角度。

3.根據權利要求1所述的晶圓轉角度機，其特征在于，所述夾具包括多個夾層，相鄰兩夾層用于夾持一個待轉角度的晶圓。

4.根據權利要求3所述的晶圓轉角度機，其特征在于，所有夾層相互平行。

5.根據權利要求3所述的晶圓轉角度機，其特征在于，所述夾層的尺寸與八寸晶圓的尺寸相適應，以夾持八寸晶圓。

6.根據權利要求3所述的晶圓轉角度機，其特征在于，所述轉動軸包括設置于所述轉動軸表面的定位軸，所述定位軸的長度方向與所述轉動軸的軸向平行。

7.根據權利要求6所述的晶圓轉角度機，其特征在于，各個夾層沿所述定位軸的長度方向依次設置。

8.根據權利要求7所述的晶圓轉角度機，其特征在于，所述定位軸突出于所述轉動軸表面設置，用于對齊各個安裝至所述夾層的待轉角度的晶圓的定位槽。

9.根據權利要求1所述的晶圓轉角度機，其特征在于，還包括：

旋鈕，連接至所述旋轉電機，用于控制所述旋轉電機控制所述轉動軸轉動的角度。

10.根據權利要求9所述的晶圓轉角度機，其特征在于，所述旋鈕可選的檔位包括0°、22°、180°和270°，分別對應于所述旋轉電機驅動所述轉動軸繞所述軸心旋轉0°、22°、180°和270°。