[實用新型]低溫等離子體表面處理裝置

有效

• 申請號: 201920808862.5
• 申請日: 2019-05-30
• 公開（公告）號: CN210110703U
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 李昇勛;金度根
• 申請（專利權）人: 韓國機械研究院
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;A61C13/00
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙) 11447
• 代理人: 桑傳標

本實用新型涉及低溫等離子體表面處理裝置。更詳細地，本實用新型涉及用于提高生物材料的生物相容性的低溫等離子體表面處理裝置。

技術領域

本實用新型涉及利用低溫等離子體的表面處理裝置(Low temperature plasmadevice for surface treatment)。更詳細地，本實用新型涉及用于提高生物材料的生物相容性的低溫等離子體表面處理裝置。

背景技術

用于提高生物材料的生物相容性的低溫等離子體表面處理技術為近期對此需求發生急劇增加的高附加值生物表面處理技術。對于2000年代初期作為半導體、顯示產業的表面處理技術而急速發展的大氣壓等離子體技術，近期通過生物-等離子體技術之間的融合而具有開創出保健相關的新技術領域的趨勢，可以適用于醫療與保健相關的多種應用領域。

目前在韓國正在開發中的低溫等離子體表面處理技術中，作為生物材料表面處理的代表性例子有利用等離子射流(Plasma Jet)的種植體夾具(fixture)表面處理裝置。所述等離子體射流形式具有如下問題：持續供給惰性氣體(Ar、He)的必要性、因鉛筆類型處理形式引起的處理不均勻性、手術現場中的難以方便使用等。因此，相關產業界對于能夠解決上述問題的低溫等離子體表面處理技術的需求正在急劇增加。

作為本實用新型的背景技術，大韓民國注冊專利號第10-0595418號中記載有鋁等離子體腔室及其制造方法。

實用新型內容

需要解決的問題

本實用新型的目的在于提供一種低溫等離子體表面處理裝置，該低溫等離子體表面處理裝置用于提高生物材料的生物相容性且用于超親水表面處理。

本實用新型的另一目的在于提供一種低溫等離子體表面處理裝置，該低溫等離子體表面處理裝置用于殺菌。

本實用新型的又一目的在于提供一種在牙科醫院可供醫生容易使用的形式的低溫等離子體表面處理裝置，以用于牙科種植體材料的表面處理。

本實用新型的其它目的以及優點通過下述發明的詳細描述、權利要求以及附圖更加明確。

解決問題的手段

根據一個方面，提供一種低溫等離子體表面處理裝置，包括：腔室，該腔室內設置有至少一個管狀的低溫等離子體發生部，以用于供被處理物插入；蓋部，該蓋部可開閉地覆蓋所述腔室的上表面，低溫等離子體發生部為從外側以第一電極、介電體管和第二電極的順序圍繞布置的管狀，所述第一電極為用于施加電壓的電極，所述第二電極為接地電極。

根據一個實施方式，所述第二電極可以為圖案型或多孔性形態。

根據一個實施方式，還可以包括活性物種排出單元，該活性物種排出單元用于排出所述腔室內部產生的活性物種。

根據一個實施方式，所述蓋部可以構成為能夠獨立地開閉所述低溫等離子體發生部。

根據另一方面，提供一種低溫等離子體表面處理裝置，包括腔室，該腔室內設置有至少一個管狀的低溫等離子體發生部，以用于供金屬材料的被處理物插入，所述低溫等離子體發生部包括：介電體管；以及第一電極，該第一電極設置在所述介電體管的外側，所述第一電極為用于施加電壓的電極，金屬材料的被處理物為接地電極。

根據一個實施方式，所述介電體管可以由陶瓷、高分子聚合物或玻璃制成。

根據一個實施方式，所述介電體管的一側用于供被處理物插入，所述介電體管的另一側上還可以設置有活性物種排出單元。

根據一個實施方式，所述活性物種排出單元可以包括：管，該管與所述介電體管連接；泵，該泵與所述管連接；以及臭氧去除部，該臭氧去除部設置在所述泵的前側或后側。