[實用新型]回流高效率有機廢氣處理系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920804659.0
• 申請日: 2019-05-30
• 公開（公告）號: CN210410092U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭石治;扶亞民;陳倫慶
• 申請（專利權(quán)）人: 華懋科技股份有限公司;上海華懋環(huán)保節(jié)能設(shè)備有限公司
• 主分類號: B01D53/06
• 分類號: B01D53/06;F23G7/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 任巖

一種回流高效率有機廢氣處理系統(tǒng)，包括焚燒裝置、吸附轉(zhuǎn)輪、第一加熱裝置和回流熱交換器，吸附轉(zhuǎn)輪連接廢氣進氣管路、凈氣排放管路、冷卻氣進氣管路、冷卻氣輸送管路和第一熱氣輸送管路；回流熱交換器連接有一回流熱氣回收管路及一回流回收管路，回流熱氣回收管路的另一端與焚燒裝置的出氣口連接，回流回收管路的另一端與廢氣進氣管路連接，主要將焚燒裝置的排氣經(jīng)過回流熱交換器進行熱回收，并將焚燒裝置的排氣再經(jīng)過回流熱交換器和吸附區(qū)出口的凈氣排放管路的排出氣體進行熱交換，而得以冷卻再輸送到廢氣進氣管路，使燃燒后的氣體進入吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)循環(huán)利用，而不經(jīng)過煙囪進行排放，使煙囪的排放量降低，并使有機廢氣的處理效率提升。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種回流高效率有機廢氣處理系統(tǒng)，尤指一種用來將燃燒后的氣體進入該吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)循環(huán)利用，且不用經(jīng)過該煙囪進行排放，使有機廢氣的處理效率提升，而適用于半導體產(chǎn)業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)或化學相關(guān)產(chǎn)業(yè)的有機廢氣處理系統(tǒng)或類似設(shè)備。

背景技術(shù)

目前在半導體產(chǎn)業(yè)或光電產(chǎn)業(yè)的制造生產(chǎn)過程中都會產(chǎn)生具有揮發(fā)性有機氣體(VOC)，因此，在各廠區(qū)都會安裝處理揮發(fā)性有機氣體(VOC) 的處理設(shè)備，以避免揮發(fā)性有機氣體(VOC)直接排入空氣中而造成空氣污染。而目前經(jīng)過該處理設(shè)備脫附的濃縮氣體大都是輸送到該焚燒爐進行燃燒，再將燃燒后的氣體輸送到煙囪進行排放。

但是近年來，不管是中央政府或是各地方政府都對空氣污染非常重視，也因此在煙囪的排放標準上制定了有關(guān)懸浮微粒(PM₁₀)及細懸浮微粒(PM_2.5)空氣質(zhì)量標準，并依據(jù)其國內(nèi)健康影響研究結(jié)果，以健康影響為優(yōu)先考量，將“細懸浮微粒(PM_2.5)”24小時值定為35μg/m³、年平均值定為15μg/m³。且環(huán)保部門初步定于2020年達成全國細懸浮微粒濃度年平均值15μg/m³的目標，同時將依國際管制趨勢發(fā)展，逐期檢討其細懸浮微粒(PM_2.5)空氣質(zhì)量標準，并朝達成WHO提出的空氣質(zhì)量標準值(24 小時值定為25μg/m³、年平均值定為10μg/m³)為空氣質(zhì)量改善目標。

因此，本實用新型有鑒于上述缺失，期望能提出一種具有提升有機廢氣處理效率的回流高效率有機廢氣處理系統(tǒng)，使使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設(shè)計組制，以提供使用者便利性，為本發(fā)明人的發(fā)明動機。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的主要目的，在于提供一種回流高效率有機廢氣處理系統(tǒng)，主要將焚燒裝置的排氣經(jīng)過回流熱交換器進行熱回收，并將該焚燒裝置的排氣再經(jīng)過該回流熱交換器和吸附區(qū)出口的凈氣排放管路的排出氣體(吸附處理氣體)進行熱交換，而得以冷卻再輸送到該廢氣進氣管路，使燃燒后的氣體進入該吸附轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)循環(huán)利用，而不經(jīng)過該煙囪進行排放，使該煙囪的排放量降低，并使有機廢氣的處理效率提升，進而增加整體的實用性。

本實用新型的另一目的，在于提供一種回流高效率有機廢氣處理系統(tǒng)，通過該吸附轉(zhuǎn)輪增設(shè)一高溫脫附區(qū)，以用來進行在線運轉(zhuǎn)(ON LINE) 時，能將殘留的高沸點有機物(VOC)脫出，使該吸附轉(zhuǎn)輪恢復其吸附能力，而增加揮發(fā)性有機廢氣的處理效率，并達到減少污染物排放的效果，進而增加整體的使用性。

本實用新型的再一目的，在于提供一種回流高效率有機廢氣處理系統(tǒng)，通過該凈氣排放管路連接一凈氣旁通管路，該凈氣旁通管路的另一端與該煙囪排放管路連接，使該凈氣排放管路在輸送排出凈化后氣體時，除了進入該回流熱交換器的回流冷側(cè)管路進行熱交換外，還能通過與該凈氣排放管路所連接的凈氣旁通管路進行旁通分流，使部分的凈化后氣體直接流到該煙囪排放管路再經(jīng)過該煙囪進行排放，借此，通過該凈氣旁通管路來使該凈氣排放管路形成分流的功能，進而增加整體的利用性。