[實用新型]一種光罩盒

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920802761.7
• 申請日: 2019-05-30
• 公開（公告）號: CN210063763U
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發(fā)明（設計）人: 段克波
• 申請（專利權）人: 博福特(廈門)新材料有限公司
• 主分類號: B65D25/10
• 分類號: B65D25/10;B65D43/26;G03F1/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光罩盒，包括底盒、上蓋和固定夾，該底盒和上蓋通過固定夾扣住底盒邊緣使之形成閉合的容納晶圓的容置空間，固定夾與上蓋通過一轉軸鉸接構成，其特征在于：所述固定夾對稱安裝于上蓋邊緣的中間位置，固定夾由按壓部和勾部成L字型一體連接組成，位于按壓部上方的上蓋設有兩個沉頭孔，沉頭孔底部裝有限位柱，限位柱上套接復位彈簧，復位彈簧的另一端與按壓部上表面抵接；所述上蓋內表面對稱裝有數個緩沖套件，緩沖套件包括緩沖柱、橡膠套和T字型的防滑套，緩沖套件與放于盒內的晶圓上表面接觸，橡膠套有一通孔，橡膠套上端部分與緩沖柱固定插接，T字型防滑套插入橡膠套的下端。

2.根據權利要求1所述的一種光罩盒，其特征在于：所述底盒上表面相對兩側均設置有承載件，承載件數量為4個，承載件上盛放晶圓，承載件承載晶圓并限制晶圓豎直方向的位移。

3.根據權利要求1所述的一種光罩盒，其特征在于：所述底盒上表面兩側側壁均設置有限位塊，限位塊數量為4個，限位塊限制晶圓水平方向的位移。

4.根據權利要求1所述的一種光罩盒，其特征在于：所述防滑套的插入端外徑大于橡膠套內徑0.1mm-0.5mm。

5.根據權利要求1所述的一種光罩盒，其特征在于：所述防滑套插入端的端面為球面構造。