[實用新型]一種帶有集成控制系統的靶材燒結爐

有效

• 申請號: 201920802416.3
• 申請日: 2019-05-30
• 公開（公告）號: CN210220727U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 李兵
• 申請（專利權）人: 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
• 主分類號: F27D19/00
• 分類號: F27D19/00
• 代理公司: 北京天盾知識產權代理有限公司 11421
• 代理人: 林曉宏

1.一種帶有集成控制系統的靶材燒結爐，包括工作臺、真空爐體、傳動連接于工作臺的升降驅動電機、安裝于真空爐體內的發熱元件、連接于真空爐體的排氣閥及一獨立于真空爐體的電控柜，電控柜內設置有集成控制系統，其特征在于：集成控制系統設置三相電源輸入端，三相電源輸入端并聯有電源控制電路、升降驅動電路、爐溫控制電路和爐壓控制電路，

電源控制電路設置有電源啟動模塊、人機輸入界面、PLC控制單元，PLC控制單元與人機輸入界面配置成串行通訊模式，以接收人機輸入界面的運行參數；

人機輸入界面的電源接線端和PLC控制單元的電源接線端分別電連接電源啟動模塊；

升降驅動電路設置有一變頻支路，PLC控制單元通過信號輸出端口導通或切斷變頻支路，變頻支路的輸出端電連接升降驅動電機；

爐壓控制電路設置有一固態繼電器，固態繼電器的輸入控制端電連接PLC控制單元的信號輸出端口，固態繼電器的受控輸出端電連接排氣閥，爐溫控制電路電連接發熱元件。

2.根據權利要求1所述的一種帶有集成控制系統的靶材燒結爐，其特征在于：所述電源啟動模塊設置有電源啟動支路、電源指示支路、直流供電支路；

電源啟動支路設置有過流保護開關QF5和鑰匙開關K1，過流保護開關QF5和鑰匙開關K1串聯形成一電源啟動支路，電源啟動支路設有電源輸入端和交流供電端，電源啟動支路的電源輸入端電連接三相電源輸入端，

電源指示支路設置有電源指示燈H1，直流供電支路設置有整流器，

電源指示燈H1和整流器分別并聯于電源啟動支路的交流供電端，以分別形成電源指示支路和直流供電支路；

人機輸入界面的電源接線端電連接整流器的直流供電端、PLC控制單元的電源接線端電連接交流供電端。

3.根據權利要求1所述的一種帶有集成控制系統的靶材燒結爐，其特征在于：升降驅動電路設置有升降預警支路和所述變頻支路，

升降預警支路設置有第一升降預警蜂鳴器Y1、第二升降預警蜂鳴器Y2和中間繼電器KA3，

中間繼電器KA3的常開開關的一端分別并聯第一升降預警蜂鳴器Y1和第二升降預警蜂鳴器Y2，中間繼電器KA3的常開開關的另一端電連接三相電源輸入端，中間繼電器KA3的線圈電連接PLC控制單元的信號輸出端口，以形成升降預警支路。

4.根據權利要求3所述的一種帶有集成控制系統的靶材燒結爐，其特征在于：所述變頻支路設置有變頻器、中間繼電器KA1和中間繼電器KA2，變頻器設置有調頻旋鈕；

變頻器的電源輸入端電連接三相電源輸入端，變頻器的供電輸出端電連接升降驅動電機，中間繼電器KA1的常開開關和中間繼電器KA2的常開開關分別電連接于變頻器的兩個信號選擇通道，中間繼電器KA1的線圈和中間繼電器KA2的線圈分別電連接PLC控制單元的信號輸出端口。

5.根據權利要求2所述的一種帶有集成控制系統的靶材燒結爐，其特征在于：爐溫控制電路設置有發熱驅動支路和溫度反饋支路，

溫度反饋支路用于采集發熱元件的溫度數據，且溫度反饋支路根據溫度數據調整發熱驅動支路的輸出端的電壓大小或電流大小，

發熱驅動支路設置有三相功率驅動器、交流接觸器KM1和三相變壓器TC1，

三相電源輸入端電連接交流接觸器KM1的常開開關的第一端，交流接觸器KM1的常開開關的第二端電連接三相功率驅動器的電源輸入端口，交流接觸器KM1的線圈電連接PLC控制單元的信號輸出端口；

三相變壓器TC1的輸入端電連接三相功率驅動器的供電輸出端口，三相變壓器TC1的輸出端并聯有一三相電流互感器和所述發熱元件，三相電流互感器耦接有一三相電壓表和一三相電流表。