[實(shí)用新型]一種充氦回收管路用氣動集成閥

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920798066.8
• 申請日: 2019-05-30
• 公開（公告）號: CN210164948U
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張果;藍(lán)峰;王洪軍;姜玉倫;黃凱
• 申請（專利權(quán)）人: 成都東方儀器有限公司
• 主分類號: F16K11/20
• 分類號: F16K11/20;F16K31/122
• 代理公司: 成都欣圣知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51292
• 代理人: 王海文

本實(shí)用新型提供了一種充氦回收管路用氣動集成閥,目的是解決現(xiàn)有充氦回收管路所采用的較多的CKD電磁閥而導(dǎo)致的管路復(fù)雜、接頭數(shù)量多、空間占用較大的技術(shù)問題。該氣動集成閥包括封裝于集成座中的集成管路以及固定于集成座外側(cè)的若干閥體。閥體包括閥座、閥芯和調(diào)節(jié)氣缸，調(diào)節(jié)氣缸活塞桿貫穿閥座頂部與閥芯固定連接，從而控制閥芯對閥座管口的密封情況，以實(shí)現(xiàn)閥體的啟閉和控制通徑。本實(shí)用新型可根據(jù)管路需求，將所需數(shù)量閥門集中固定在集成座處，從而減少了管路的焊接量、同時(shí)降低了空間占用。同時(shí)，本實(shí)用新型申請閥座處管口不必區(qū)分進(jìn)出口、正反均可使用，有利于簡化管路、減少閥門的使用數(shù)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空氦檢技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種充氦回收管路用氣動集成閥。

背景技術(shù)

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高、簡便易操作、儀器反應(yīng)靈敏、精度高、不易受其他氣體的干擾等優(yōu)點(diǎn)而得到廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏采用以氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器，由其質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子。隨后在加速電場作用下進(jìn)入磁場，在洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道。改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。處于成本及資源保護(hù)的考慮，檢漏后氦氣須進(jìn)行提純回收。

現(xiàn)有充氦回收管路多采用CKD電磁閥控制，由于回收管路本身較為復(fù)雜、加之上述閥門具有方向性，從而導(dǎo)致管路中電磁閥數(shù)量較多、接頭數(shù)很多、線路復(fù)雜、空間占用較大。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述情況，為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型提供一種充氦回收管路用氣動集成閥，解決了現(xiàn)有充氦回收管路所采用的較多的CKD電磁閥而導(dǎo)致的管路復(fù)雜、接頭數(shù)量多、空間占用較大的技術(shù)問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種充氦回收管路用氣動集成閥，其特征在于，該氣動集成閥包括：

集成管路，具有一個(gè)總管口和多個(gè)分支管口；

集成座，具有內(nèi)部容置空間，套設(shè)于集成管路外側(cè)；

若干閥座，固定于集成座處，具有內(nèi)腔，側(cè)壁對設(shè)有與內(nèi)腔相連通的管口；

閥芯，在閥座內(nèi)豎直移動，活動密封管口；

調(diào)節(jié)氣缸，固定于閥座頂部，其活塞桿貫穿閥座頂壁、與閥芯固定連接；

其中，集成管路的管口均出露于集成座外側(cè)，閥座的一側(cè)管口與集成管路的分支管口密封連接。

進(jìn)一步地，集成管路的總管口和分支管口分別開設(shè)于集成座頂部和正面。

進(jìn)一步地，閥座采用不銹鋼材質(zhì)。

進(jìn)一步地，該氣動集成閥包括：

固定架，固定設(shè)置于集成座背面。

進(jìn)一步地，閥芯包括：

主閥芯，外徑與閥座內(nèi)徑相匹配，在閥座內(nèi)豎直往復(fù)移動、與閥座的管口活動密封；

防漏閥芯，通過連桿固定于主閥芯上方，并與調(diào)節(jié)氣缸的活塞桿連接固定；

彈性體，設(shè)置閥座底部，與主閥芯底部相接。

進(jìn)一步地，主閥芯、防漏閥芯及其連桿均采用不銹鋼材質(zhì)。

進(jìn)一步地，主閥芯、防漏閥芯外側(cè)包裹或涂覆密封材料。

進(jìn)一步地，彈性體采用彈簧。

本實(shí)用新型有益效果在于：