[實用新型]一種芯片生產用除塵裝置

有效

• 申請號: 201920796637.4
• 申請日: 2019-05-30
• 公開（公告）號: CN210207925U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 張益銘
• 申請（專利權）人: 上海芯強微電子股份有限公司
• 主分類號: B08B5/04
• 分類號: B08B5/04;B08B13/00;A61L2/10;B01D49/00;B01D53/02;B01D53/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種芯片生產用除塵裝置，包括橫板(3)，其特征在于，所述橫板(3)的底部外壁四角均設置有支撐腿(1)，且支撐腿(1)的底部外壁均固定有移動機構，兩個支撐腿(1)的一側外壁設置有同一個支撐板(2)，所述橫板(3)的頂部外壁設置有吸塵機構，且橫板(3)的底部外壁焊機有粉塵處理箱(4)，所述粉塵處理箱(4)的底部外壁和兩個支撐板(2)的一側外壁均設置有吸塵罩(12)，且粉塵處理箱(4)的底部內壁放置有毒氣處理機構，所述粉塵處理箱(4)的內壁兩側設置有同一個活性炭吸附層(10)。

2.根據權利要求1所述的一種芯片生產用除塵裝置，其特征在于，所述移動機構包括有連接框(13)，且連接框(13)的內壁通過軸承連接有同一個萬向輪(6)。

3.根據權利要求1所述的一種芯片生產用除塵裝置，其特征在于，所述吸塵機構包括有抽風機(8)，且抽風機(8)的輸出端和粉塵處理箱(4)的頂部內壁設置有同一個導管(7)。

4.根據權利要求3所述的一種芯片生產用除塵裝置，其特征在于，所述抽風機(8)的輸入端設置有抽風管(9)，且抽風管(9)的另一端通過四通管分別連接有規格相同的導塵管(5)。

5.根據權利要求4所述的一種芯片生產用除塵裝置，其特征在于，三個所述導塵管(5)的另一端分別通過法蘭連接于吸塵罩(12)的一側內壁。

6.根據權利要求1所述的一種芯片生產用除塵裝置，其特征在于，所述毒氣處理機構包括有毒氣處理盒(11)，且毒氣處理盒(11)的底部內壁放置有吸附劑。

7.根據權利要求1-6任一所述的一種芯片生產用除塵裝置，其特征在于，還包括焊接于粉塵處理箱(4)的一側內壁的燈座(15)，所述燈座(15)的內壁通過卡箍卡接有殺菌燈(16)。