[實用新型]一種適用于柔性拋光的單晶金剛石夾具有效
| 申請號: | 201920790005.7 | 申請日: | 2019-05-29 |
| 公開(公告)號: | CN210081476U | 公開(公告)日: | 2020-02-18 |
| 發明(設計)人: | 肖平;陸靜;徐西鵬 | 申請(專利權)人: | 華僑大學 |
| 主分類號: | B24B41/06 | 分類號: | B24B41/06 |
| 代理公司: | 廈門市首創君合專利事務所有限公司 35204 | 代理人: | 張松亭;姜謐 |
| 地址: | 362000 福建省*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 適用于 柔性 拋光 金剛石 夾具 | ||
1.一種適用于柔性拋光的單晶金剛石夾具,其特征在于:包括
一底座,其上端面的中部向上凸設一外螺紋柱,該外螺紋柱的上端凸設一樣品臺;
一調節環,其下端面的中部向內凹設一內螺紋孔,其上端面的中部向內凹設與該內螺紋孔連通的一樣品通孔;
一墊片,其中部設有與上述樣品通孔適配的一通孔;
和一定位螺母;
調節環的內螺紋孔適配底座的外螺紋柱,且底座的樣品臺滑動設于調節環的樣品通孔中,定位螺母適配于底座的外螺紋柱,并設于調節環與底座之間,墊片鋪設與調節環的上端面。
2.如權利要求1所述的單晶金剛石夾具,其特征在于:所述墊片通過粘結劑鋪設于調節環的上端面。
3.如權利要求1所述的單晶金剛石夾具,其特征在于:所述墊片為碳化硅墊片。
4.如權利要求1所述的單晶金剛石夾具,其特征在于:所述墊片為氧化鋁陶瓷片。
5.如權利要求1所述的單晶金剛石夾具,其特征在于:所述樣品臺、調節環和墊片的橫截面均為圓形。
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