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[實用新型]一種適用于柔性拋光的單晶金剛石夾具有效

專利信息
申請號: 201920790005.7 申請日: 2019-05-29
公開(公告)號: CN210081476U 公開(公告)日: 2020-02-18
發明(設計)人: 肖平;陸靜;徐西鵬 申請(專利權)人: 華僑大學
主分類號: B24B41/06 分類號: B24B41/06
代理公司: 廈門市首創君合專利事務所有限公司 35204 代理人: 張松亭;姜謐
地址: 362000 福建省*** 國省代碼: 福建;35
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 適用于 柔性 拋光 金剛石 夾具
【權利要求書】:

1.一種適用于柔性拋光的單晶金剛石夾具,其特征在于:包括

一底座,其上端面的中部向上凸設一外螺紋柱,該外螺紋柱的上端凸設一樣品臺;

一調節環,其下端面的中部向內凹設一內螺紋孔,其上端面的中部向內凹設與該內螺紋孔連通的一樣品通孔;

一墊片,其中部設有與上述樣品通孔適配的一通孔;

和一定位螺母;

調節環的內螺紋孔適配底座的外螺紋柱,且底座的樣品臺滑動設于調節環的樣品通孔中,定位螺母適配于底座的外螺紋柱,并設于調節環與底座之間,墊片鋪設與調節環的上端面。

2.如權利要求1所述的單晶金剛石夾具,其特征在于:所述墊片通過粘結劑鋪設于調節環的上端面。

3.如權利要求1所述的單晶金剛石夾具,其特征在于:所述墊片為碳化硅墊片。

4.如權利要求1所述的單晶金剛石夾具,其特征在于:所述墊片為氧化鋁陶瓷片。

5.如權利要求1所述的單晶金剛石夾具,其特征在于:所述樣品臺、調節環和墊片的橫截面均為圓形。

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