[實用新型]左右對稱式CVD系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920788266.5
• 申請日: 2019-05-29
• 公開（公告）號: CN210261994U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫正乾;于葛亮;唐陽;王永慧
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫盈芯半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務(wù)所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良;涂三民

1.一種左右對稱式CVD系統(tǒng)，它包括左驅(qū)動器（11）、左放樣腔體（12）、左滑塊（13）、左送樣桿（15）、左加熱爐（16）、右驅(qū)動器（21）、右放樣腔體（22）、右滑塊（23）、右送樣桿（25）、右加熱爐（26）與連接管（7）；其特征是：所述左放樣腔體（12）的右端部與連接管（7）的左端部固定相連，連接管（7）的右端部與右放樣腔體（22）的左端部固定相連，在連接管（7）的外部設(shè)有左加熱爐（16）與右加熱爐（26），在左放樣腔體（12）的左側(cè)設(shè)有左滑塊（13）與左驅(qū)動器（11），左滑塊（13）由左驅(qū)動器（11）驅(qū)動，在左滑塊（13）上固定有左送樣桿（15），左送樣桿（15）伸入左放樣腔體（12）與連接管（7）內(nèi)，在右放樣腔體（22）右側(cè)設(shè)有右滑塊（23）與右加熱爐（26），右滑塊（23）由右加熱爐（26）驅(qū)動，在右滑塊（23）上固定有右送樣桿（25），右送樣桿（25）伸入右放樣腔體（22）與連接管（7）內(nèi)。

2.如權(quán)利要求1所述的左右對稱式CVD系統(tǒng)，其特征是：在左放樣腔體（12）內(nèi)設(shè)有左支撐環(huán)（14），所述左送樣桿（15）穿過左支撐環(huán)（14）。

3.如權(quán)利要求1所述的左右對稱式CVD系統(tǒng)，其特征是：在右放樣腔體（22）內(nèi)設(shè)有右支撐環(huán)（24），所述右送樣桿（25）穿過右支撐環(huán)（24）。