[實用新型]一種MEMS揚聲器及通信設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920787740.2
• 申請日: 2019-05-28
• 公開（公告）號: CN209627689U
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發(fā)明（設計）人: 劉端
• 申請（專利權）人: 安徽奧飛聲學科技有限公司
• 主分類號: H04R19/02
• 分類號: H04R19/02
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

本申請公開了一種MEMS揚聲器及通信設備，其中，所述MEMS揚聲器中的振動膜層由柔性支撐和一個喇叭形振動結構構成，所述柔性支撐的一端設置于所述支撐結構背離所述薄膜換能器一側；所述喇叭形振動結構設置于所述耦合結構背離所述薄膜換能器一側；所述柔性支撐的另一端與所述喇叭形振動結構遠離所述薄膜換能器一側連接。由于所述喇叭形振動結構的表面積相較于傳統(tǒng)的平面振動膜層的表面積較大，從而增加了MEMS揚聲器的輻射面積，并且由于所述喇叭形振動結構的聚攏形狀，使得所述MEMS揚聲器發(fā)射的聲音可以通過該喇叭形振動結構實現聲音的聚焦，進而增加了揚聲器的發(fā)射聲壓靈敏度。

技術領域

本申請涉及聲學設備技術領域，更具體地說，涉及一種MEMS揚聲器及通信設備。

背景技術

聲音是由物體振動產生的，我們把正在發(fā)生的物體叫做聲源。物體振動產生的壓力波通過空氣運動，進而振動內耳的聽小骨，這些振動被聽小骨轉化為微小的電子腦波，從而使得人能夠察覺到聲音。

揚聲器，又稱喇叭，是一種常見的電聲換能器件，其作用是將電信號轉換為聲信號，并通過振動的形式將聲信號向外界傳輸，以實現聲音的傳遞。

MEMS(微機電系統(tǒng)，Micro-Electro-Mechanical System)揚聲器，具有功耗低、尺寸小、體積小和一致性好等優(yōu)點，是揚聲器領域的發(fā)展方向。但是由于MEMS揚聲器的輻射面積相較于傳統(tǒng)的揚聲器的輻射面積減小，現有的MEMS揚聲器的發(fā)射聲壓靈敏度還不能夠完全滿足實用化的需求。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本申請?zhí)峁┮环NMEMS揚聲器及通信設備，以實現提升揚聲器的發(fā)射聲壓靈敏度的目的。

為實現上述目的，本申請?zhí)峁┤缦录夹g方案：

一種MEMS揚聲器，包括：

薄膜換能器；

設置于所述薄膜換能器表面的耦合結構和支撐結構，所述支撐結構分別位于所述耦合結構的周圍，所述支撐結構與所述耦合結構之間具有空腔結構；

位于所述耦合結構和支撐結構背離所述薄膜換能器一側的振動膜層，所述振動膜層包括柔性支撐和一個喇叭形振動結構；

所述柔性支撐的一端設置于所述支撐結構背離所述薄膜換能器一側；所述喇叭形振動結構設置于所述耦合結構背離所述薄膜換能器一側；

所述柔性支撐的另一端與所述喇叭形振動結構遠離所述薄膜換能器一側連接。

可選的，所述柔性支撐為至少具有豎直平面伸縮自由度的柔性支撐。

可選的，所述柔性支撐為高分子防水材料柔性支撐；

所述喇叭形振動結構為高分子防水材料喇叭形振動結構。

可選的，所述喇叭形振動結構包括底面和頂面；

所述底面的直徑小于所述頂面的直徑；

所述底面設置于所述耦合結構表面，所述底面為封閉面；

所述頂面的外延與所述柔性支撐的一端固定連接，所述頂面為敞開面。

可選的，所述薄膜換能器包括：壓電換能器或振動傳導膜層和壓電換能器構成的組合結構；

在所述組合結構中，所述振動傳導膜層用于承載所述耦合結構和兩個所述支撐結構，并與所述壓電換能器連接，所述壓電換能器用于產生振動推動所述耦合結構運動；

所述壓電換能器設置于所述振動傳導膜層背離所述喇叭形振動結構一側。

可選的，所述振動傳導膜層為氮化硅膜、氧化硅膜和硅膜中的一種膜層，或為氮化硅膜、氧化硅膜和硅膜中的多種膜層的疊加膜層。