[實用新型]一種充氣式儲物盒電子貨架和充氣式儲物盒存放管理系統

有效

• 申請號: 201920787438.7
• 申請日: 2019-05-28
• 公開（公告）號: CN210000893U
• 公開（公告）日: 2020-01-31
• 發明（設計）人: 吳健健;王通;李修遠
• 申請（專利權）人: 芯恩(青島)集成電路有限公司
• 主分類號: B65D81/20
• 分類號: B65D81/20
• 代理公司: 11479 北京漢之知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 陳敏

本實用新型一種充氣式儲物盒電子貨架和充氣式儲物盒存放管理系統，充氣式儲物盒上設置有至少一充氣接口和至少一排氣接口，電子貨架包括：架體，架體上設置有至少一個安裝座，安裝座上設置有至少一個充氣閥門和至少一個排氣閥門，至少一個充氣閥門和至少一個排氣閥門能夠分別與充氣式儲物盒上的充氣接口和排氣接口相對接；能夠對充氣式儲物盒氣體狀態進行監測的至少一組氣體狀態監測組件。本實用新型可以實現充氣式儲物盒在貨架內部的在位充氣并能夠對充氣式儲物盒內的氣體狀態進行實時檢測，能夠有效防止充氣式儲物盒在移動過程中所導致的晶圓損害和在充氣式儲物盒內氣體參數不符合標準時的損害，能夠有效保證晶圓存儲的安全性。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，具體地涉及一種充氣式儲物盒電子貨架和充氣式儲物盒存放管理系統。

背景技術

在半導體制造中，隨著制程復雜度和晶圓(Wafer)尺寸(CD)越來越小，為了更好的對晶圓進行保護，晶圓多通過充氣式儲物盒(Foup)來進行儲放，如圖2所示，充氣式儲物盒500包括盒體501和設置在盒體下部的底座502，充氣式儲物盒500通過底座502放置在貨架上，為了保證晶圓在充氣式儲物盒內的穩定性，現有常規的方法為在充氣式儲物盒內充滿氮氣(N2)，所以充氣式儲物盒上均設置有充氣接口和排氣接口，然而現有充氣式儲物盒和貨架均沒有設置對充氣式儲物盒內氮氣狀態進行補充的結構或裝置，所以現有充氣式儲物盒對氮氣的補充，多在機臺端或者在進入貨架前完成，當發現充氣式儲物盒內氣體狀態不符合要求時將充氣式儲物盒移出充氣后再放回，在移出和放回的過程中均增加了晶圓損害的風險。另外現有貨架結構也無法對充氣式儲物盒內的氣體狀態進行監控，一旦充氣式儲物盒內的參數不符合要求，就會造成晶圓的損害，嚴重時會導致報廢，所以需要設計一種充氣式儲物盒電子貨架和充氣式儲物盒存放管理系統，來實現充氣式儲物盒在貨架內的氣體狀態監控及在線充氣。

實用新型內容

鑒于現有技術的上述缺陷和不足，本實用新型提供一種充氣式儲物盒電子貨架和充氣式儲物盒存放管理系統，來實現充氣式儲物盒在貨架內的氣體狀態監控及在線充氣。

本實用新型提供一種充氣式儲物盒電子貨架，所述充氣式儲物盒上設置有至少一充氣接口和至少一排氣接口，其特征在于，所述電子貨架包括：

架體，所述架體上設置有至少一個能夠放置所述充氣式儲物盒的安裝座，所述安裝座上設置有至少一個充氣閥門和至少一個排氣閥門，所述至少一個充氣閥門和至少一個排氣閥門能夠分別與所述充氣式儲物盒上的充氣接口和排氣接口相對接；

能夠對充氣式儲物盒氣體狀態進行監測的至少一組氣體狀態監測組件。

優選地，所述電子貨架還包括氣體補充裝置，所述氣體補充裝置包括氣源和充氣裝置，所述充氣裝置的抽風口與所述氣源相連通，所述充氣裝置的充氣口與所述充氣閥門相連通。

進一步地，所述電子貨架還包括控制系統，所述控制系統能夠接收所述氣體狀態監測組件的信號并對所述充氣裝置、所述充氣閥門、所述排氣閥門進行啟閉控制。

進一步地，所述氣體補充裝置還包括回氣凈化裝置，所述排氣閥門與所述回氣凈化裝置的進氣口相連接，所述回氣凈化裝置的出氣口與所述氣源相連通。

更進一步地，所述氣體狀態監控組件包括至少一個能夠對所述至少一個充氣式儲物盒內壓力進行檢測的壓力傳感器。

更進一步地，所述壓力傳感器安裝在所述充氣閥門與所述充氣口之間的連通管道上。

優選地，所述氣體狀態監控組還包括能夠對排氣閥門處氣流狀態進行檢測的氣流傳感器，所述氣流傳感器安裝在所述排氣閥門的閥門口處。

優選地，所述電子貨架還包括對所述安裝座上充氣式儲物盒進行識別的充氣式儲物盒識別裝置，所述充氣式儲物盒識別裝置與所述控制系統相電連。